[发明专利]柔性太阳能电池的制作方法在审
| 申请号： | 201910726164.5 | 申请日： | 2019-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN112349804A | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 黄欣萍;陆书龙;龙军华;李雪飞;邢志伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/18 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 柔性 太阳能电池 制作方法 | ||
1.一种柔性太阳能电池的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括步骤：
S1、在柔性塑料衬底(1)上形成第一子电极层(21)；
S2、在刚性衬底(3)上形成外延层(5)，在所述外延层(5)的背向所述刚性衬底(3)的一面上形成第二子电极层(22)；
S3、将所述第一子电极层(21)的背向所述柔性塑料衬底(1)的一面与所述第二子电极层(22)的背向所述外延层(5)的一面之间进行键合，以形成第一电极(2)；
S4、去除所述刚性衬底(3)。
2.根据权利要求1所述的柔性太阳能电池的制作方法，其特征在于，步骤S2具体包括：
S21、在所述刚性衬底(3)上形成牺牲层(4)；
S22、在所述牺牲层(4)的背向所述刚性衬底(3)的一面上形成所述外延层(5)；
S23、在所述外延层(5)的背向所述牺牲层(4)的一面上形成第二子电极层(22)，并将依序去除所述刚性衬底(3)和所述牺牲层(4)。
3.根据权利要求2所述的柔性太阳能电池的制作方法，其特征在于，在步骤S4之后，所述制作方法还包括步骤：S5、在所述外延层(5)的背向所述第二子电极层(22)的一面上形成第二电极(7)，所述第二电极(7)为栅形电极。
4.根据权利要求3所述的柔性太阳能电池的制作方法，其特征在于，在步骤S5之后，所述制作方法还包括步骤：S6、在第二电极(7)上制备增透膜层(8)。
5.根据权利要求4所述的柔性太阳能电池的制作方法，其特征在于，所述制作方法还包括：在所述柔性塑料衬底(1)的背向所述第一子电极层(21)的一面上形成临时衬底(6)。
6.根据权利要求5所述的柔性太阳能电池的制作方法，其特征在于，在步骤S6之后，所述制作方法还包括步骤：S7、去除所述临时衬底(6)。
7.根据权利要求4所述的柔性太阳能电池的制作方法，其特征在于，所述增透膜层(8)包括多个第一功能膜层和第二功能膜层，所述第一功能膜层和所述第二功能膜层以远离所述外延层(5)的方向依序交替堆叠。
8.根据权利要求1-7任一所述的柔性太阳能电池的制作方法，其特征在于，所述刚性衬底(3)为GaAs衬底。
9.根据权利要求1-7任一所述的柔性太阳能电池的制作方法，其特征在于，所述柔性塑料衬底(1)为聚酰亚胺膜。
10.根据权利要求1-7任一所述的柔性太阳能电池的制作方法，其特征在于，所述外延层(5)包括多个子电池。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
