[发明专利]柔性太阳能电池的制作方法

说明书

本发明公开了一种柔性太阳能电池的制作方法，该方法包括如下步骤：在柔性塑料衬底上形成第一子电极层；在刚性衬底上形成外延层，在外延层的背向刚性衬底的一面上形成第二子电极层；将第一子电极层的背向柔性塑料衬底1的一面与第二子电极层的背向外延层的一面之间进行键合，以形成第一电极；去除刚性衬底。本发明解决了现有的柔性塑料衬底材料的耐热性较低，在生长Ⅲ‑Ⅴ太阳电池的外延层结构的时候容易挥发，生长困难，导致无法正常制作太阳电池的问题。

技术领域

本发明涉及光伏技术领域，尤其涉及一种柔性太阳能电池的制作方法。

背景技术

柔性太阳电池一直是太阳电池的一个研究重点和难点。无论是在航天领域，军事武器装备，还是在民用市场上对柔性太阳电池都有迫切的需求。但是，目前在柔性塑料衬底材料上不适合直接生长Ⅲ-Ⅴ太阳电池。例如，采用MOCVD(金属有机化合物化学气相沉淀)工艺生长太阳电池的外延层时，因反应室内的高温，衬底温度可以达到600℃～1200℃。但是，现有的柔性塑料衬底材料可承受的温度远远达不到上述反应室内的温度。例如，聚酰亚胺膜耐高温为400℃，长期使用温度范围为200℃～300℃，因此不适用于上述的高温工艺中(这里的高温工艺是指实施工艺时，周围环境温度达到500℃以上的工艺)。所以在现有的柔性塑料衬底上生长太阳电池的外延层是极其困难的事情。因此有必要研发一种新的方案，来解决不易制备柔性太阳电池的问题。

发明内容

为了达到上述的目的，本发明采用了如下的技术方案：

一种柔性太阳能电池的制作方法，所述制作方法包括步骤：

S1、在柔性塑料衬底上形成第一子电极层；

S2、在刚性衬底上形成外延层，在所述外延层的背向所述刚性衬底的一面上形成第二子电极层；

S3、将所述第一子电极层的背向所述柔性塑料衬底的一面与所述第二子电极层的背向所述外延层的一面之间进行键合，以形成第一电极；

S4、去除所述刚性衬底。

优选地，步骤S2具体包括：

S21、在所述刚性衬底上形成牺牲层；

S22、在所述牺牲层的背向所述刚性衬底的一面上形成所述外延层；

S23、在所述外延层的背向所述牺牲层的一面上形成第二子电极层，并将依序去除所述刚性衬底和所述牺牲层。

优选地，在步骤S4之后，所述制作方法还包括步骤：S5、在所述外延层的背向所述第二子电极层的一面上形成第二电极，所述第二电极为栅形电极。

优选地，在步骤S5之后，所述制作方法还包括步骤：S6、在第二电极上制备增透膜层。

优选地，所述制作方法还包括：在所述柔性塑料衬底的背向所述第一子电极层的一面上形成临时衬底。

优选地，在步骤S6之后，所述制作方法还包括步骤：S7、去除所述临时衬底。

优选地，所述增透膜层包括多个第一功能膜层和第二功能膜层，所述第一功能膜层和所述第二功能膜层以远离所述外延层的方向依序交替堆叠。

优选地，所述刚性衬底为GaAs衬底。

优选地，所述柔性塑料衬底为聚酰亚胺膜。

优选地，所述外延层包括多个子电池。