[发明专利]蒸镀设备及其防着板在审
| 申请号： | 201910728994.1 | 申请日： | 2019-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN110453181A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 姜亮 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 44300 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) | 代理人： | 黄威<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 518132广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 防着板 蒸镀腔 粗糙表面 蒸镀设备 支撑基板 壳体 坩埚 辐射热吸收层 蒸镀材料 容置 体内 | ||
1.一种蒸镀设备，其特征在于：所述蒸镀设备包括：
一壳体，所述壳体内形成有一蒸镀腔；
一坩埚，设置于所述蒸镀腔内，用以容置一蒸镀材料；以及
一防着板，设置于所述蒸镀腔内，并且所述防着板位于所述壳体与所述坩埚之间，所述防着板包括：
一支撑基板，所述支撑基板具有一粗糙表面；及
一辐射热吸收层，设置于所述粗糙表面上。
2.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于：所述粗糙表面朝向所述坩埚。
3.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于：所述粗糙表面是通过一喷砂处理形成在所述支撑基板上。
4.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于：所述辐射热吸收层为一黑色钝化层或一黑色铁氟龙涂层。
5.一种用于蒸镀设备的防着板，其特征在于：所述防着板包括：
一支撑基板，所述支撑基板具有一粗糙表面；以及
一辐射热吸收层，设置于所述粗糙表面上。
6.如权利要求5所述的防着板，其特征在于：所述辐射热吸收层为黑色。
7.如权利要求5所述的防着板，其特征在于：所述辐射热吸收层为一黑色钝化层或一黑色铁氟龙涂层。
8.如权利要求5所述的防着板，其特征在于：所述辐射热吸收层的材料包含金属氧化物、陶瓷、氮化钛(TiN)、氮化硅(SiN)、石墨、碳纤维或其组合。
9.如权利要求5所述的防着板，其特征在于：所述粗糙表面为一波纹齿结构、一锯齿结构或一阵列凹陷结构。
10.如权利要求5所述的防着板，其特征在于：所述支撑基板为一不锈钢板。
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