[发明专利]蒸镀设备及其防着板

说明书

本发明公开了一种蒸镀设备，所述蒸镀设备包括：一壳体，所述壳体内形成有一蒸镀腔；一坩埚，设置于所述蒸镀腔内，用以容置一蒸镀材料；以及一防着板，设置于所述蒸镀腔内，并且所述防着板位于所述壳体与所述坩埚之间，所述防着板包括：一支撑基板，所述支撑基板具有一粗糙表面；及一辐射热吸收层，设置于所述粗糙表面上。

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，特别是涉及一种蒸镀设备及其防着板。

背景技术

现行生产工艺中使用蒸镀技术制作高解析度OLED面板，而在蒸镀过程中，基板与定义像素成膜位置的金属掩模板(mask)一起置于高真空的金属腔体内，坩埚内的材料经过加热汽化沉积在基板上，此过程中大部分的汽化的材料会腔壁上。当累积过多时，材料会脱离形成颗粒污染产品。现行做法为在真空腔体内壁上安装可拆卸的防着板以便定时更换，减少上述问题发生的机率。

然而，蒸镀过程中蒸发源一直处在高温状态，在将材料汽化的同时也会通过辐射的方式向周围传递能量，例如基板、金属掩模板及防着板。而辐射热通过金属防着板表面的反射会影响金属掩模板，导致基板与金属掩模板之间产生错位或使得OLED面板产生局部mura。

故，有必要提供一种蒸镀设备及其防着板，以解决现有技术所存在的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种蒸镀设备及其防着板，抑制热辐射对基板及金属掩模板的影响，从而减少热膨胀所导致的错位及mura的产生，进而提升产品分辨率及良率。

为达成本发明的前述目的，本发明提供一种蒸镀设备，所述蒸镀设备包括：

一壳体，所述壳体内形成有一蒸镀腔；

一坩埚，设置于所述蒸镀腔内，用以容置一蒸镀材料；以及

一防着板，设置于所述蒸镀腔内，并且所述防着板位于所述壳体与所述坩埚之间，所述防着板包括：

一支撑基板，所述支撑基板具有一粗糙表面；及

一辐射热吸收层，设置于所述粗糙表面上。

根据本发明一实施例，所述粗糙表面朝向所述坩埚。

根据本发明一实施例，所述粗糙表面是通过一喷砂处理形成在所述支撑基板上。

根据本发明一实施例，所述辐射热吸收层为一黑色钝化层或一黑色铁氟龙涂层。

本发明还提供一种用于蒸镀设备的防着板，所述防着板包括：

一支撑基板，所述支撑基板具有一粗糙表面；以及

一辐射热吸收层，设置于所述粗糙表面上。

根据本发明一实施例，所述辐射热吸收层为黑色。

根据本发明一实施例，所述辐射热吸收层为一黑色钝化层或一黑色铁氟龙涂层。

根据本发明一实施例，所述辐射热吸收层的材料包含金属氧化物、陶瓷、氮化钛(TiN)、氮化硅(SiN)、石墨、碳纤维或其组合。

根据本发明一实施例，所述粗糙表面为一波纹齿结构、一锯齿结构或一阵列凹陷结构。

根据本发明一实施例，所述支撑基板为一不锈钢板。

本发明的有益效果为：通过防着板上的辐射热吸收层来减少辐射热反射至基板及金属掩模板。如此一来，可以减少基板及金属掩模板的热膨胀，进而提升成膜精度及产品分辨率。此外，抑制基板温度升高可以提升有机膜层的产品良率。

附图说明

为让本发明的上述内容能更明显易懂，下文特举优选实施例，并配合所附图式，作详细说明如下：