[发明专利]一种非接触式静电检测器校准装置及校准方法

权利要求书

1.一种非接触式静电检测器校准装置，其特征在于，包括：

支撑架(1)；

平板校准电极(2)，所述平板校准电极(2)水平放置，且所述平板校准电极(2)的一侧设有多个绝缘固定件(3)，所述绝缘固定件(3)的一端与所述平板校准电极(2)连接，另一端与所述支撑架(1)连接；

测试臂(4)，所述测试臂(4)上设有用于安装非接触式静电检测器的安装部(5)，且所述安装部(5)置于所述平板校准电极(2)上方的中心位置。

2.根据权利要求1所述的非接触式静电检测器校准装置，其特征在于，所述支撑架(1)包括方形框架(11)及沿所述方形框架(11)的对角设置的第一支架(12)和第二支架(13)，所述支撑架(1)连接有地线。

3.根据权利要求2所述的非接触式静电检测器校准装置，其特征在于，所述平板校准电极(2)的一侧设有五个所述绝缘固定件(3)；

所述平板校准电极(2)的中心与所述绝缘固定件(3)的一端连接，所述绝缘固定件(3)的另一端与所述第一支架(12)和所述第二支架(13)的交叉处连接；

所述平板校准电极(2)周向均匀分布四个所述绝缘固定件(3)，其中两个所述绝缘固定件(3)相对所述平板校准电极(2)的中心对称安装于所述第一支架(12)上，另两个所述绝缘固定件(3)相对所述平板校准电极(2)的中心对称安装于所述第二支架(13)上。

4.根据权利要求1所述的非接触式静电检测器校准装置，其特征在于，所述绝缘固定件(3)包括圆柱形的四氟固定件。

5.根据权利要求1所述的非接触式静电检测器校准装置，其特征在于，所述平板校准电极(2)的材质为不锈钢，且所述平板校准电极(2)的表面呈镜面。

6.根据权利要求1所述的非接触式静电检测器校准装置，其特征在于，所述测试臂(4)的一端连接有驱动所述测试臂(4)升降的第一驱动组件(6)，所述测试臂(4)的另一端设置所述安装部(5)。

7.根据权利要求6所述的非接触式静电检测器校准装置，其特征在于，所述第一驱动组件(6)包括电机(61)、丝杆和与所述丝杆匹配连接的丝母(62)，所述电机(61)的输出端与所述丝杆的一端连接，所述测试臂(4)与所述丝母(62)连接。

8.根据权利要求1所述的非接触式静电检测器校准装置，其特征在于，所述支撑架(1)的外围设有防护架(7)，且所述防护架(7)与所述支撑架(1)一体连接，所述防护架(7)的高度高于所述平板校准电极(2)。

9.根据权利要求1所述的非接触式静电检测器校准装置，其特征在于，所述平板校准电极(2)连接有直流高压电源(8)。

10.一种非接触式静电检测器的校准方法，用于权利要求1-9任一项所述的非接触式静电检测器校准装置中，其特征在于，包括以下步骤：

将非接触式静电检测器安装于测试臂(4)的安装部(5)，使所述非接触式静电检测器置于平板校准电极(2)的中部；

调节所述非接触式静电检测器与所述平板校准电极(2)之间的测试距离；

向所述平板校准电极(2)输出标准电压，用所述非接触式静电检测器检测所述平板校准电极(2)的电压，得到静电电压值；

比较所述标准电压与所述静电电压值，得到校准误差。