[发明专利]减压干燥装置及减压干燥方法

说明书

本发明公开了一种减压干燥装置及减压干燥方法。该减压干燥装置包括密封腔体、抽气机构、盖板以及驱动机构，抽气机构设置在密封腔体的外部且与密封腔体连通，盖板设置在密封腔体的内部，盖板具有多个挥发通孔，多个挥发通孔用于与多个像素坑一一对应，驱动机构设置在密封腔体且内连接于所述盖板以用于驱动所述盖板运动。该减压干燥装置能够使像素坑内的发光材料薄膜的厚度更加均匀、表面更加平坦、改善最终成膜的形貌和提高膜厚均匀性。本发明的减压干燥装置通过改变像素坑内墨水在边缘和中间区域的挥发速率，在墨水内形成一种新的液体流动，来抵消部分毛细管流动，从而抑制咖啡环效应，改善成膜形貌和提高膜厚均匀性。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别是涉及一种减压干燥装置及减压干燥方法。

背景技术

发光器件如OLED、QLED等，因其色域广、对比度高、响应迅速、视角大、功耗低等优点，近年来作为下一代显示技术而倍受关注。发光二极管的结构包括：阳极、空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层和阴极。其中的空穴注入层、空穴传输层、发光层除了可以使用传统的蒸镀方法来制备外，还可以使用喷墨打印的方法来制备，即将发光材料溶解到有机溶剂中制成墨水，再用喷墨打印的方式准确沉积到每一个像素坑中(如图1所示，基板101上由像素界定层102(也即堤坝)分隔形成多个的像素坑，然后墨水103被准确沉积到像素坑中)。沉积后，经过减压干燥，使溶剂完全挥发，只留下发光材料，然后再对发光材料进行烘烤，便完成一层功能层的制备。

其中的减压干燥过程，通过降低环境的压力来降低有机溶剂的沸点，使得其挥发速率提高，达到去除溶剂的目的。减压干燥的过程对最终发光材料成膜的形貌有着显著的影响，而成膜的形貌将决定发光器件的效率和寿命以及像素内部的发光面积(电流倾向于从厚度较薄的地方经过，若像素坑内薄膜厚度差异较大，将只有薄的地方发光)。一般情况下，希望发光材料在像素坑内形成平坦、厚度均匀的薄膜。但是，当墨水在像素坑内开始挥发时，三相接触线附近优先沉积下来的发光材料使三相接触线发生钉扎效应(即干燥过程中三相接触线位置被固定，不向内收缩，使得墨滴的底面积维持不变)，如图1所示。此时，墨滴边缘挥发的溶剂需要由中间部分进行补充，因此在墨滴内部形成了由中心向边缘的毛细管流动，不断将发光材料溶质搬送并沉积到了三相接触线附近，最终形成了中间薄两边厚的发光材料薄膜。这种现象也被称为咖啡环效应，如图2所示，像素坑内部的发光材料薄膜104形貌整体偏凹。

由于像素内部膜厚中间薄两边厚，因此通电时，电流更倾向于从中间较薄的区域通过，导致像素只有中间部分发光。由于像素内的发光面积减小，使得整个显示面板的开口率显著下降，显示面板的整体亮度偏低。

发明内容

基于此，有必要提供一种使发光器件像素坑内的发光材料薄膜的厚度更加均匀、表面更加平坦、有利于改善最终成膜的形貌和提高膜厚均匀性的减压干燥装置及减压干燥方法。

一种减压干燥装置，包括密封腔体、抽气机构、盖板以及驱动机构，所述抽气机构设置在所述密封腔体的外部且与所述密封腔体连通，所述盖板设置在所述密封腔体的内部，所述盖板具有多个挥发通孔，多个所述挥发通孔用于与多个像素坑一一对应，所述驱动机构设置在所述密封腔体且内连接于所述盖板以用于驱动所述盖板运动。

在其中一个实施例中，所述减压干燥装置还包括阀门，所述密封腔体具有抽气口，所述抽气口处设有所述阀门，所述抽气机构通过所述阀门连通于所述密封腔体。

在其中一个实施例中，所述抽气口的数量为多个，多个所述抽气口处均设有所述阀门，各个所述阀门均连接于所述抽气机构。

在其中一个实施例中，所述减压干燥装置还包括设置在所述密封腔体的内部的支承板，所述支承板用于供基板放置。

在其中一个实施例中，所述减压干燥装置还包括设置在所述密封腔体的内部的加热装置。

在其中一个实施例中，所述密封腔体的顶部设有开口以及用于打开或者关闭所述开口的腔盖。