[发明专利]一种用于PERC电池加工的硅片翻转装置在审
| 申请号： | 201910733342.7 | 申请日： | 2019-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN112349637A | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 何飞;徐小萍 | 申请（专利权）人： | 江苏晶旺新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/687;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人： | 艾秀丽 |
| 地址： | 225600 江苏省扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 perc 电池 加工 硅片 翻转 装置 | ||
1.一种用于PERC电池加工的硅片翻转装置，包括旋转轮盘(1)，其特征在于：所述旋转轮盘(1)的外壁均匀设置支撑板块(2)，所述支撑板块(2)的顶部设置限位卡合装置(3)，所述支撑板块(2)的顶部活动插接硅片(4)，所述支撑板块(2)的顶部靠近旋转轮盘(1)外壁的一端活动设置活动板块(5)，所述活动板块(5)靠近限位卡合装置(3)的端面连接紧固套圈(8)，且硅片(4)的一端插接在紧固套圈(8)的内壁，所述活动板块(5)靠近限位卡合装置(3)的端面活动卡接在限位卡合装置(3)的外壁。
2.根据权利要求1所述的一种用于PERC电池加工的硅片翻转装置，其特征在于：所述限位卡合装置(3)包括固定设置在支撑板块(2)顶部的固定壳体(31)，所述固定壳体(31)的内腔活动设置内隔板(32)，所述内隔板(32)的一端连接顶杆(33)，所述顶杆(33)的另一端延伸至固定壳体(31)的外侧并连接滚轮(34)，所述内隔板(32)的另一端连接伸缩弹簧(35)，且伸缩弹簧(35)的另一端连接在固定壳体(31)的内壁。
3.根据权利要求1所述的一种用于PERC电池加工的硅片翻转装置，其特征在于：所述活动板块(5)靠近限位卡合装置(3)的端面设置限位卡杆(6)，所述限位卡合装置(3)的外壁设置与限位卡杆(6)匹配的限位卡槽(7)。
4.根据权利要求1所述的一种用于PERC电池加工的硅片翻转装置，其特征在于：所述紧固套圈(8)包括固定设置在活动板块(5)外壁的矩形内凹槽，矩形内凹槽的内壁均匀粘接塑胶套环。
5.根据权利要求1所述的一种用于PERC电池加工的硅片翻转装置，其特征在于：所述活动板块(5)的底部设置滑块，所述支撑板块(2)的顶部设置与滑块匹配的滑槽。
6.根据权利要求1所述的一种用于PERC电池加工的硅片翻转装置，其特征在于：所述支撑板块(2)共有六组，六组所述支撑板块(2)与硅片(4)连接端面设置为光滑平板。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
