[发明专利]一种高纯硅生产用中心化合物的制备装置

权利要求书

1.一种高纯硅生产用中心化合物的制备装置，包括反应炉（1）和支撑脚（7），所述反应炉（1）的下方前后两端左右两侧均固接有支撑脚（7），其特征在于：所述反应炉（1）的内部中心安装有离心组件（4），所述离心组件（4）的内部放置有粗硅粉（8），所述离心组件（4）的上方设有动力组件（5），所述反应炉（1）的左右两侧和下方安装有流通组件（2），所述流通组件（2）的左右两端内部均安装有检测组件（3），所述反应炉（1）的内壁上下两端均固接有加热板（9），所述加热板（9）的左端均通过第二导线（6）与外界电源相连通。

2.根据权利要求1所述的一种高纯硅生产用中心化合物的制备装置，其特征在于：所述离心组件（4）包括环形滤网（401）、密封轴承（402）、第一端盖（403）、环形板（404）、第二端盖（405）、螺钉（406）、横杆（407）、气孔（408）和第一胶塞（409），上下所述第一端盖（403）的外壁均通过密封轴承（402）和反应炉（1）转动相连，所述第一端盖（403）的内侧内外两端均固接有环形滤网（401），所述环形滤网（401）的内侧设有粗硅粉（8），所述环形滤网（401）的内部中心均固接有环形板（404），两个所述环形板（404）的内部固接有横杆（407），所述第一端盖（403）的外侧均设有第二端盖（405），所述第二端盖（405）的内侧均固接有第一胶塞（409），所述第一胶塞（409）均与第一端盖（403）紧密贴合，所述第一端盖（403）的左右两侧内部均设有螺钉（406），所述螺钉（406）与第一端盖（403）和第二端盖（405）均螺纹相连，所述下方第一端盖（403）的内部加工有气孔（408）。

3.根据权利要求2所述的一种高纯硅生产用中心化合物的制备装置，其特征在于：上下所述第一端盖（403）、第二端盖（405）和螺钉（406）均以反应炉（1）的水平中心为基准呈轴对称分布。

4.根据权利要求1所述的一种高纯硅生产用中心化合物的制备装置，其特征在于：所述流通组件（2）包括排气管（201）、第一竖管（202）、球形滤网（203）、轴承（204）、第一阀门开关（205）、第二阀门开关（206）、进气管（207）和单向阀（208），所述进气管（207）的外壁上端通过轴承（204）与第二端盖（405）转动相连，所述进气管（207）的上下两侧分别与气孔（408）和外界氯化氢气体输送装置相连通，所述进气管（207）的外壁前方安装有第一阀门开关（205），所述环形滤网（401）的左右两侧上下两端均设有球形滤网（203），上下所述球形滤网（203）的内侧通过第一竖管（202）相连通，所述第一竖管（202）的内部上下两侧均安装有单向阀（208），所述第一竖管（202）的外侧中心均通过排气管（201）与外界气体收集处相连通，所述排气管（201）的外壁前方外侧均安装有第二阀门开关（206）。

5.根据权利要求1所述的一种高纯硅生产用中心化合物的制备装置，其特征在于：所述动力组件（5）包括第一导线（501）、电动推杆（502）、连杆（503）、电机（504）、电机箱（505）和电机座（506），所述电动推杆（502）固接在反应炉（1）的上端左侧，所述电动推杆（502）的下方左端通过第一导线（501）与外界电源相连通，所述电动推杆（502）的内部推杆上方通过连杆（503）与电机箱（505）固定相连，所述电机箱（505）的内部通过电机座（506）与电机（504）固定相连，所述电机（504）的输出轴与上方第二端盖（405）固定相连。

6.根据权利要求1所述的一种高纯硅生产用中心化合物的制备装置，其特征在于：所述检测组件（3）包括第三端盖（301）、PH试纸（302）、第二竖管（303）和第二胶塞（304），所述第二竖管（303）固接在排气管（201）的上端外侧，且第二竖管（303）与排气管（201）相连通，所述第二竖管（303）的上方设有第三端盖（301），所述第三端盖（301）的下端固接有第二胶塞（304），所述第二胶塞（304）与第二竖管（303）过盈配合，所述第二胶塞（304）和第三端盖（301）的内部固接有PH试纸（302）。