[发明专利]一种高纯硅生产用中心化合物的制备装置

说明书

本发明公开了一种高纯硅生产用中心化合物的制备装置，包括反应炉和支撑脚，所述反应炉的下方前后两端左右两侧均固接有支撑脚，所述反应炉的内壁上下两端均固接有加热板，所述加热板的左端均通过第二导线与外界电源相连通。该高纯硅生产用中心化合物的制备装置，通过电机、反应炉、第一端盖、第二端盖、螺钉、环形滤网、第一胶塞、进气管和粗硅粉之间的配合，使启动电机带动粗硅粉离心后通过进气管对反应炉内部注入氯化氢气体进行制备，解决了现有技术气体与粉末的接触不良导致反应效率较差的问题，通过反应炉、进气管、排气管、第三端盖、第一胶塞、第二竖管和PH试纸之间的配合，解决了现有技术不变及时掌握内部原料余量导致原料浪费的问题。

技术领域

本发明涉及高纯硅技术领域，具体为一种高纯硅生产用中心化合物的制备装置。

背景技术

目前我国制备高纯硅多晶硅主要采用三氯氢硅氢还原法、硅烷热解法和四氯化硅氢还原法，一般说来，由于三氯氢硅还原法具有一定优点，目前比较广泛的被应用，此外，由于SiH4具有易提纯的特点，因此硅烷热分解法是制备高纯硅的很有发展潜力的方法，虽然现有技术能够实现三氯氢硅的制备，但是现有技术存在气体与粉末的接触不良导致反应效率较差的问题，同时仍存在不变及时掌握内部原料余量导致原料浪费的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种高纯硅生产用中心化合物的制备装置，以解决上述背景技术中提出的存在气体与粉末的接触不良导致反应效率较差的问题，同时仍存在不变及时掌握内部原料余量导致原料浪费的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种高纯硅生产用中心化合物的制备装置，包括反应炉和支撑脚，所述反应炉的下方前后两端左右两侧均固接有支撑脚，所述反应炉的内部中心安装有离心组件，所述离心组件的内部放置有粗硅粉，所述离心组件的上方设有动力组件，所述反应炉的左右两侧和下方安装有流通组件，所述流通组件的左右两端内部均安装有检测组件，所述反应炉的内壁上下两端均固接有加热板，所述加热板的左端均通过第二导线与外界电源相连通。

优选的，所述离心组件包括环形滤网、密封轴承、第一端盖、环形板、第二端盖、螺钉、横杆、气孔和第一胶塞，上下所述第一端盖的外壁均通过密封轴承和反应炉转动相连，所述第一端盖的内侧内外两端均固接有环形滤网，所述环形滤网的内侧设有粗硅粉，所述环形滤网的内部中心均固接有环形板，两个所述环形板的内部固接有横杆，所述第一端盖的外侧均设有第二端盖，所述第二端盖的内侧均固接有第一胶塞，所述第一胶塞均与第一端盖紧密贴合，所述第一端盖的左右两侧内部均设有螺钉，所述螺钉与第一端盖和第二端盖均螺纹相连，所述下方第一端盖的内部加工有气孔。

优选的，上下所述第一端盖、第二端盖和螺钉均以反应炉的水平中心为基准呈轴对称分布。

优选的，所述流通组件包括排气管、第一竖管、球形滤网、轴承、第一阀门开关、第二阀门开关、进气管和单向阀，所述进气管的外壁上端通过轴承与第二端盖转动相连，所述进气管的上下两侧分别与气孔和外界氯化氢气体输送装置相连通，所述进气管的外壁前方安装有第一阀门开关，所述环形滤网的左右两侧上下两端均设有球形滤网，上下所述球形滤网的内侧通过第一竖管相连通，所述第一竖管的内部上下两侧均安装有单向阀，所述第一竖管的外侧中心均通过排气管与外界气体收集处相连通，所述排气管的外壁前方外侧均安装有第二阀门开关。

优选的，所述动力组件包括第一导线、电动推杆、连杆、电机、电机箱和电机座，所述电动推杆固接在反应炉的上端左侧，所述电动推杆的下方左端通过第一导线与外界电源相连通，所述电动推杆的内部推杆上方通过连杆与电机箱固定相连，所述电机箱的内部通过电机座与电机固定相连，所述电机的输出轴与上方第二端盖固定相连。

优选的，所述检测组件包括第三端盖、PH试纸、第二竖管和第二胶塞，所述第二竖管固接在排气管的上端外侧，且第二竖管与排气管相连通，所述第二竖管的上方设有第三端盖，所述第三端盖的下端固接有第二胶塞，所述第二胶塞与第二竖管过盈配合，所述第二胶塞和第三端盖的内部固接有PH试纸。