[发明专利]一种提高电荷电压转换增益的四管有源像素结构在审

专利信息
申请号: 201910738271.X 申请日: 2019-08-12
公开(公告)号: CN112397530A 公开(公告)日: 2021-02-23
发明(设计)人: 徐江涛;徐亮;赵彤;查万斌;高静 申请(专利权)人: 天津大学青岛海洋技术研究院
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 266200 山东省青岛市鳌*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 提高 电荷 电压 转换 增益 有源 像素 结构
【权利要求书】:

1.一种提高电荷电压转换增益的四管有源像素结构,其特征在于:该像素结构基于p型硅衬底(101),p+型钳位层(103)位于p型硅衬底(101)的上表面;p型硅衬底(101)、p+型钳位层(103)、和n型电荷存储区SW(102)构成钳位光电二极管PPD;多晶硅栅TG(105)、p型势垒区PB(106)、p-型虚拟势垒区VB(107)、p型硅衬底(101)构成传输管;n型浮动扩散区FD(109)远离多晶硅栅TG(105);多晶硅栅(108)、p-型虚拟势垒区VB(112)、p型势垒区PB(113)、n型连接区(114)构成复位晶体管RST;n型连接区(114)、p型硅衬底(101)、n型连接区(115)构成源级跟随器SF;多晶硅栅(111)、n型连接区(115)、p型硅衬底(101)、n型连接区(116)构成选择管SEL;n型浮动扩散区FD(109)、p-型虚拟势垒区VB(112)、p型势垒区PB(113)、n型连接区(114115116)位于p阱(104)之中;钳位光电二极管(102103)右侧与传输栅TG(105)左侧相连;传输栅TG(105)右侧与浮动扩散区FD(109)通过p-虚拟势垒区VB(107)相连;复位晶体管RST(108)右侧与浮动扩散区FD(109)通过p-虚拟势垒区VB(112)相连;复位晶体管RST(108)右侧与n型连接区(114)左侧相连;n型连接区(114)右侧与源级跟随器SF(110)左侧相连;源级跟随器SF(110)右侧与n型连接区(115)左侧相连;n型连接区(115)右侧与选择管SEL(111)左侧相连;选择管SEL(111)右侧与n型连接区(116)左侧相连;n型浮动扩散区FD(109)通过金属线与源级跟随器SF栅(110)相连;n型连接区(114)通过金属线与电源VDD相连;n型连接区(116)通过金属线与列总线Column Bus相连。

2.根据权利要求1所述一种提高电荷电压转换增益的四管有源像素结构,其特征在于:当传输栅TG(105)为高压时,传输栅TG(105)下的沟道开启,钳位光电二极管中电荷存储区SW(102)全部流向浮动扩散区FD(109),由于传输栅TG(105)和浮动扩散区FD(109)之间存在一个小电势,仍有部分电荷留在沟道中,当传输栅TG(105)上的电压由高向低转变时,沟道中剩余电荷会流向浮动扩散区FD(109),保证电荷的完全转移。

3.根据权利要求1所述一种提高电荷电压转换增益的四管有源像素结构,其特征在于:引入p-虚拟势垒区VB(107112),实现浮动扩散区FD(109)远离传输栅TG(105)、复位晶体管栅(108),从而减小浮动扩散区FD(109)与传输栅TG(105)、复位晶体管栅(108)的交叠电容,进而增大电荷电压转换增益。

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