[发明专利]一种提高电荷电压转换增益的四管有源像素结构在审
申请号: | 201910738271.X | 申请日: | 2019-08-12 |
公开(公告)号: | CN112397530A | 公开(公告)日: | 2021-02-23 |
发明(设计)人: | 徐江涛;徐亮;赵彤;查万斌;高静 | 申请(专利权)人: | 天津大学青岛海洋技术研究院 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 266200 山东省青岛市鳌*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 提高 电荷 电压 转换 增益 有源 像素 结构 | ||
1.一种提高电荷电压转换增益的四管有源像素结构,其特征在于:该像素结构基于p型硅衬底(101),p+型钳位层(103)位于p型硅衬底(101)的上表面;p型硅衬底(101)、p+型钳位层(103)、和n型电荷存储区SW(102)构成钳位光电二极管PPD;多晶硅栅TG(105)、p型势垒区PB(106)、p-型虚拟势垒区VB(107)、p型硅衬底(101)构成传输管;n型浮动扩散区FD(109)远离多晶硅栅TG(105);多晶硅栅(108)、p-型虚拟势垒区VB(112)、p型势垒区PB(113)、n型连接区(114)构成复位晶体管RST;n型连接区(114)、p型硅衬底(101)、n型连接区(115)构成源级跟随器SF;多晶硅栅(111)、n型连接区(115)、p型硅衬底(101)、n型连接区(116)构成选择管SEL;n型浮动扩散区FD(109)、p-型虚拟势垒区VB(112)、p型势垒区PB(113)、n型连接区(114115116)位于p阱(104)之中;钳位光电二极管(102103)右侧与传输栅TG(105)左侧相连;传输栅TG(105)右侧与浮动扩散区FD(109)通过p-虚拟势垒区VB(107)相连;复位晶体管RST(108)右侧与浮动扩散区FD(109)通过p-虚拟势垒区VB(112)相连;复位晶体管RST(108)右侧与n型连接区(114)左侧相连;n型连接区(114)右侧与源级跟随器SF(110)左侧相连;源级跟随器SF(110)右侧与n型连接区(115)左侧相连;n型连接区(115)右侧与选择管SEL(111)左侧相连;选择管SEL(111)右侧与n型连接区(116)左侧相连;n型浮动扩散区FD(109)通过金属线与源级跟随器SF栅(110)相连;n型连接区(114)通过金属线与电源VDD相连;n型连接区(116)通过金属线与列总线Column Bus相连。
2.根据权利要求1所述一种提高电荷电压转换增益的四管有源像素结构,其特征在于:当传输栅TG(105)为高压时,传输栅TG(105)下的沟道开启,钳位光电二极管中电荷存储区SW(102)全部流向浮动扩散区FD(109),由于传输栅TG(105)和浮动扩散区FD(109)之间存在一个小电势,仍有部分电荷留在沟道中,当传输栅TG(105)上的电压由高向低转变时,沟道中剩余电荷会流向浮动扩散区FD(109),保证电荷的完全转移。
3.根据权利要求1所述一种提高电荷电压转换增益的四管有源像素结构,其特征在于:引入p-虚拟势垒区VB(107112),实现浮动扩散区FD(109)远离传输栅TG(105)、复位晶体管栅(108),从而减小浮动扩散区FD(109)与传输栅TG(105)、复位晶体管栅(108)的交叠电容,进而增大电荷电压转换增益。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的