[发明专利]一种成品芯片测试用高压加速老化试验机及其使用方法

权利要求书

1.一种成品芯片测试用高压加速老化试验机，其特征在于，包括上机体(1)，所述上机体(1)的前表面活动安装有压力门(2)，所述压力门(2)的后表面固定安装有两个竖直方向放置的密封圈(5)，所述上机体(1)的上表面中部固定安装有压力阀(4)，所述上机体(1)的底端内壁固定安装有支撑架(14)，所述支撑架(14)的上端固定安装有柱体形状的压力箱(8)，所述压力箱(8)的圆弧侧面与密封圈(5)一一对应的位置开设有圆孔(12)，所述压力箱(8)的圆弧内壁与圆孔(12)相对齐的位置固定安装有夹持机构(13)；

所述压力阀(4)包括阀体(42)，所述阀体(42)的内部螺接有阀杆(44)，所述阀杆(44)远离阀体(42)的一端固定安装有手轮(41)，所述阀体(42)的圆弧侧面靠近后端的位置开设有通孔(45)，所述阀体(42)的圆弧侧面靠近前端的上下位置均开设有出气口(43)，所述阀杆(44)的圆弧侧面靠近阀体(42)的一侧固定安装有阀杆螺母(47)，所述阀杆(44)的圆弧侧面靠近阀杆螺母(47)的一侧固定安装有填料压帽(48)，所述阀杆(44)的圆弧侧面靠近另一端的位置固定安装有阀瓣紧丝圈(412)，所述阀杆(44)的圆弧侧面活动安装有与阀瓣紧丝圈(412)螺接的阀瓣座(410)，所述阀瓣座(410)圆弧侧面的四分之一为开口，所述阀杆(44)的另一端固定安装有与阀瓣座(410)契合的阀瓣(413)，所述阀瓣座(410)的圆弧侧面固定安装有与阀体(42)内壁连接的阀套(411)，所述阀套(411)的一侧表面固定安装有密封环(49)，所述阀体(42)的前端固定安装有盲板(46)；

所述夹持机构(13)包括支板(133)，所述支板(133)的上表面中部开设有滑轨(139)，所述支板(133)的上表面靠近后端的位置固定安装有杆座(132)，所述杆座(132)的后表面固定安装有电动缸(131)，所述电动缸(131)的输出轴固定安装有贯穿杆座(132)的丝杆(1310)，所述丝杆(1310)远离电动缸(131)的一端固定安装有与滑轨(139)契合的导向板(134)，所述导向板(134)的左右侧面均固定安装有齿条(1311)，所述支板(133)的上表面位于导向板(134)的两侧均轴接有齿轮(135)，所述齿轮(135)的上表面转动安装有第一连接板(136)，所述导向板(134)的上表面靠近齿轮(135)的前方转动安装有第二连接板(137)，所述导向板(134)的左右两侧通过第一连接板(136)与第二连接板(137)均活动安装有支撑臂(138)，所述支撑臂(138)的下表面固定安装有夹杆(1312)。

2.根据权利要求1所述的一种成品芯片测试用高压加速老化试验机，其特征在于，所述上机体(1)的下表面固定安装有下机体(3)，所述下机体(3)的底端内壁固定安装有水箱(10)，所述水箱(10)的内壁固定安装有加热器(11)，所述水箱(10)的上表面连通有进水管(9)。

3.根据权利要求2所述的一种成品芯片测试用高压加速老化试验机，其特征在于，所述下机体(3)的底端内壁固定安装有与水箱(10)连通的水泵(6)，所述水泵(6)的上端固定安装有输送管(15)。

4.根据权利要求1所述的一种成品芯片测试用高压加速老化试验机，其特征在于，所述压力箱(8)的上下表面均固定安装有管道(7)，所述管道(7)分别与压力阀(4)和输送管(15)连通。

5.根据权利要求1所述的一种成品芯片测试用高压加速老化试验机，其特征在于，两个夹杆(1312)之间的距离范围为1-4cm。

6.根据权利要求1所述的一种成品芯片测试用高压加速老化试验机，其特征在于，所述齿轮(135)与齿条(1311)之间啮合连接。

7.一种如权利要求1所述的成品芯片测试用高压加速老化试验机的使用方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一：电动缸(131)推动丝杆(1310)带动导向板(134)沿着支板(133)上的滑轨(139)滑动，齿条(1311)带动齿轮(135)转动，使支撑臂(138)左右摆动带动夹杆(1312)夹持住芯片；

步骤二：将压力门(2)上的密封圈(5)对齐圆孔(12)并将圆孔(12)密封；

步骤三：从进水管(9)向水箱(10)中通入蒸馏水，加热器(11)将水箱(10)中的蒸馏水加热，由水箱(10)将水蒸气引入管道(7)连通的输送管(15)，最终通入到压力箱(8)，使压力箱(8)的内部产生高压气压，高压气压对芯片进行加速老化；

步骤四：加速老化结束后，将压力阀(4)打开，使压力箱(8)的中的气压从压力阀(4)释放出去，再打开压力门(2)，查看芯片的老化状态。