[发明专利]一种集测试与分选功能一体化的芯片加工用装置有效
申请号: | 201910738921.0 | 申请日: | 2019-08-12 |
公开(公告)号: | CN110456253B | 公开(公告)日: | 2021-07-27 |
发明(设计)人: | 黄晓波;赵凡奎 | 申请(专利权)人: | 安徽龙芯微科技有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01R1/04 |
代理公司: | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人: | 胡剑辉 |
地址: | 243000 安徽省马*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 测试 分选 功能 一体化 芯片 工用 装置 | ||
1.一种集测试与分选功能一体化的芯片加工用装置,其特征在于:包括工作台(1),所述工作台(1)为箱式结构,且在工作台(1)的内部设置有控制箱(103),所述工作台(1)的台面一侧设置有液晶显示屏(108)和声光报警器(109),且在工作台(1)的台面中间位置固定架设有测试箱(3),所述测试箱(3)的左右两侧均开设有供载物板(204)穿过的矩形通道(310);
所述工作台(1)外部右侧面上通过电机安装座设置有转动电机(2),所述转动电机(2)的输出端连接减速器的输入端,减速器的输出端固定连接有螺杆(208),所述螺杆(208)水平架设在工作台(1)的箱体内部,且螺杆(208)的另一端转动连接在所述工作台(1)内部另一侧面的转动轴承上,所述螺杆(208)上通过螺纹连接有螺母座(210),所述螺母座(210)的表面上通过焊接竖直设置有连接板(209),所述工作台(1)的台面在水平方向开设有供连接板(209)穿过的条形槽(203),所述条形槽(203)两侧的工作台(1)的台面沿水平方向分别设置有导向板一(201)和导向板二(202),所述导向板一(201)与导向板二(202)关于条形槽(203)在水平方向上的轴线对称,且在导向板一(201)与导向板二(202)相对的侧面沿水平方向均开设有T型槽(211),所述连接板(209)贯穿条形槽(203)的顶部与载物板(204)的底面焊接连接,所述载物板(204)纵向两侧的侧面上设置有与导向板一(201)和导向板二(202)T型槽(211)相适配的T型块(212),所述载物板(204)通过两侧的T型块(212)滑动连接在导向板一(201)和导向板二(202)的T型槽(211)内,所述载物板(204)的表面等分隔成四个区域,且在载物板(204)的每个独立区域内均设置有芯片放置盘(205),所述芯片放置盘(205)上设置有芯片;
所述测试箱(3)包括X向导轨(301)、Y向导轨(302)和Z向导轨(303),所述X向导轨(301)通过X向驱动机构进行驱动,且在X向导轨(301)上滑动连接有X向固定块(309),所述X向固定块(309)在横向上固定设置有Y向导轨(302),所述Y向导轨(302)通过Y向驱动机构进行驱动,且在Y向导轨(302)上滑动连接有Y向固定块(304),所述Y向固定块(304)在纵向上竖直设置有Z向导轨(303),所述Z向导轨(303)通过Z向驱动机构进行驱动,所述Z向导轨(303)上滑动连接有竖直板(305),所述竖直板(305)底面一侧焊接设置有固定板(306),所述固定板(306)的板面在竖直方向上开设有若干个螺纹通孔,所述固定板(306)上的螺纹通孔经锁紧螺钉固定连接有呈十字结构的十字测试板(307),且在十字测试板(307)四个边角的底面上分别设置有检测探针(308)。
2.根据权利要求1所述的一种集测试与分选功能一体化的芯片加工用装置,其特征在于,所述十字测试板(307)的板面上也开设有若干个与固定板(306)螺纹孔相适配的螺纹通孔,且十字测试板(307)四个边角上的检测探针(308)高度完全一致,且十字测试板(307)的位于同一侧边角上的检测探针(308)在水平方向上重合。
3.根据权利要求1所述的一种集测试与分选功能一体化的芯片加工用装置,其特征在于,所述X向导轨(301)水平设置在测试箱(3)内部底面的一侧,且在测试箱(3)的内部远离X向导轨(301)的一侧板面上设置有支撑板(312),所述支撑板(312)与X向导轨(301)在水平方向上平行,且支撑板(312)的板面在水平方向上开设有供Y型导轨(302)滑动的滑槽,所述Y向导轨(302)通过端面的滑块滑动连接在支撑板(312)的滑槽内。
4.根据权利要求1所述的一种集测试与分选功能一体化的芯片加工用装置,其特征在于,所述测试箱(3)的正面为透明玻璃窗(311)结构。
5.根据权利要求1所述的一种集测试与分选功能一体化的芯片加工用装置,其特征在于,所述连接板(209)位于螺母座(210)表面水平方向的轴线上,且连接板(209)的长度与载物板(204)的长度一致,所述连接板(209)的另一端也位于载物板(204)底面水平方向的轴线上。
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