[发明专利]一种具有二次加湿系统的洁净室布置结构及洁净生产厂房

权利要求书

1.一种具有二次加湿系统的洁净室布置结构，其特征在于，包括：至少一组二次加湿系统，每一组所述二次加湿系统包括：

加湿装置，设于所述洁净室的上技术夹层、下技术夹层、回风夹道或洁净生产区内；

用于检测所述洁净室内的空气湿度的相对湿度传感器；

与所述相对湿度传感器和所述加湿装置连接的湿度控制器，所述湿度控制器用于接收所述相对湿度传感器的湿度信号以根据所述湿度信号控制所述加湿装置工作。

2.根据权利要求1所述的具有二次加湿系统的洁净室布置结构，其特征在于，所述洁净室内设有第一独立分区和第二独立分区，所述第一独立分区与所述第二独立分区之间设有间隔墙组件以至少将所述洁净生产区分隔开，形成第一洁净生产区和第二洁净生产区，且所述第一独立分区包括第一上技术夹层、所述第一洁净生产区、第一下技术夹层和第一回风夹道，所述第二独立分区包括第二上技术夹层、所述第二洁净生产区、第二下技术夹层和第二回风夹道，所述二次加湿系统设置于所述第一独立分区内。

3.根据权利要求1所述的具有二次加湿系统的洁净室布置结构，其特征在于，所述洁净室内设有第一独立分区和第二独立分区，所述第一独立分区与所述第二独立分区之间设有间隔墙组件以至少将所述洁净生产区分隔开，形成第一洁净生产区和第二洁净生产区，且所述第一独立分区包括第一上技术夹层、所述第一洁净生产区、第一下技术夹层和第一回风夹道，所述第二独立分区包括第二上技术夹层、所述第二洁净生产区、第二下技术夹层和第二回风夹道，且所述二次加湿系统设置有至少两组，所述第一独立分区和第二独立分区均设置有所述二次加湿系统。

4.根据权利要求2或3所述的具有二次加湿系统的洁净室布置结构，其特征在于，所述间隔墙组件包括设于所述第一独立分区与所述第二独立分区之间的一个间隔墙，所述间隔墙至少位于所述第一洁净生产区与所述第二洁净生产区之间，以将所述第一洁净生产区与所述第二洁净生产区分隔开；或者，

所述间隔墙组件包括设于所述第一独立分区与所述第二独立分区之间、且并排设置的第一间隔墙和第二间隔墙，所述第一间隔墙和第二间隔墙至少位于所述第一洁净生产区与所述第二洁净生产区之间，已将所述第一洁净生产区与所述第二洁净生产区分隔，且所述第一间隔墙与所述第二间隔墙之间形成有回风夹道；或者，

所述间隔墙组件包括设于所述第一独立分区与所述第二独立分区之间、且并排设置的第一间隔墙、第二间隔墙和第三间隔墙，所述第一间隔墙和第二间隔墙至少位于所述第一洁净生产区与所述第二洁净生产区之间，已将所述第一洁净生产区与所述第二洁净生产区分隔，所述第三间隔墙设于所述第一间隔墙与所述第二间隔墙之间，且所述第三间隔墙的顶部延伸至所述上技术夹层的顶板且与所述上技术夹层的顶板密封配合，所述第三间隔墙的底部延伸至所述下技术夹层的底板且与所述下技术夹层的底板密封配合；所述第一间隔墙与所述第三间隔墙之间形成有第三回风夹道，和/或，所述第二间隔墙与所述第三间隔墙之间形成有第四回风夹道。

5.根据权利要求4所述的具有二次加湿系统的洁净室布置结构，其特征在于，当所述间隔墙组件包括设于所述第一独立分区与所述第二独立分区之间、且并排设置的第一间隔墙、第二间隔墙和第三间隔墙，且所述第一间隔墙与所述第三间隔墙之间形成有第三回风夹道时，所述第三回风夹道内设有所述加湿装置。

6.根据权利要求2或3所述的具有二次加湿系统的洁净室布置结构，其特征在于，所述第一独立分区的第一下技术夹层内设置有用于吸附所述挥发性有机物的沸石转轮机组。

7.根据权利要求1所述的具有二次加湿系统的洁净室布置结构，其特征在于，所述相对湿度传感器设于所述洁净室的洁净生产区。

8.根据权利要求1所述的具有二次加湿系统的洁净室布置结构，其特征在于，每一组所述二次加湿系统中，所述相对湿度传感器设置为一个或多个，且当所述相对湿度传感器设置为一个时，所述湿度信号为所述相对湿度传感器的感应值；当所述相对湿度传感器设置为多个时，所述湿度信号为所述多个相对湿度传感器的湿度感应值的平均值。

9.一种洁净生产厂房，其特征在于，包括如权利要求1-8任一项所述的具有二次加湿系统的洁净室布置结构。