[发明专利]有源矩阵基板及X射线摄像面板有效
申请号: | 201910742131.X | 申请日: | 2019-08-13 |
公开(公告)号: | CN110854143B | 公开(公告)日: | 2023-04-25 |
发明(设计)人: | 中野文树;中泽淳;森胁弘幸;泷田力也 | 申请(专利权)人: | 夏普株式会社 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人: | 郝家欢 |
地址: | 日本国大*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有源 矩阵 射线 摄像 面板 | ||
1.一种有源矩阵基板,其特征在于,包括:
栅极线;
数据线,其与所述栅极线交叉;
光电转换元件,其设置在由所述栅极线和所述数据线被限定的像素中;
偏置布线,其与所述光电转换元件连接;
偏置端子,其与所述偏置布线连接,向所述偏置布线供给偏置电压;
第一布线,其被供给高于所述偏置电压的规定电压;以及
第一保护电路,其由非线性元件构成,且在所述偏置端子与所述第一布线之间以反向偏置状态连接。
2.根据权利要求1所述的有源矩阵基板,其特征在于,还包括:
开关元件,其与所述栅极线、所述数据线和所述光电转换元件连接;
栅极端子,其与所述栅极线连接;以及
一组第二保护电路,它们由非线性元件构成,相对于所述栅极端子设置,
所述栅极线设有多条,
所述一组第二保护电路分别连接在公共的一个栅极端子与互不相同的其他栅极线之间,
所述一组第二保护电路在与所述一个栅极端子连接的栅极线处于选择状态时分别处于正向偏置状态,在所连接的所述其他栅极线为选择状态时分别处于反向偏置状态。
3.根据权利要求2所述的有源矩阵基板,其特征在于,还包括:
数据端子,其与所述数据线连接;以及
第三保护电路,其由非线性元件构成,且与所述数据端子连接,
所述数据端子的电位高于所述第一布线的规定电位,
所述第三保护电路在所述数据端子与所述第一布线之间以反向偏置状态连接。
4.根据权利要求2所述的有源矩阵基板,其特征在于,还包括:
数据端子,其与所述数据线连接;
第二布线,其被供给与向所述数据端子供给的电压相比高的电压;以及
第三保护电路,其由非线性元件构成,且以反向偏置状态被连接在所述数据端子与所述第二布线之间。
5.根据权利要求3或4所述的有源矩阵基板,其特征在于,
所述光电转换元件由光电二极管构成,
所述第一保护电路、所述第二保护电路及所述第三保护电路分别包含具有与所述光电转换元件相同构造的光电二极管和覆盖该光电二极管的遮光层。
6.根据权利要求2所述的有源矩阵基板,其特征在于,还包括绝缘膜,所述绝缘膜设置在所述光电转换元件与所述开关元件之间,
所述光电转换元件以隔着所述绝缘膜在俯视时与所述开关元件重叠的方式配置。
7.根据权利要求5所述的有源矩阵基板,其特征在于,
所述第一保护电路、所述第二保护电路及所述第三保护电路分别还包含与所述第一保护电路、所述第二保护电路及所述第三保护电路每一个的所述光电二极管串联连接的保护电路用开关元件。
8.一种X射线摄像面板,其特征在于,包括:
权利要求1或2所述的有源矩阵基板;以及
闪烁体,其设置在所述有源矩阵基板的一面侧,且将所照射的X射线转换为荧光。
9.根据权利要求8所述的X射线摄像面板,其特征在于,包括:
驱动电路,其与所述有源矩阵基板连接,并扫描所述栅极线;以及
读取电路,其与所述有源矩阵基板连接,经由所述数据线读取与由所述闪烁体转换得到的荧光对应的电荷。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的