[发明专利]一种粉末颗粒透射电子显微镜试样的制备方法

权利要求书

1.一种粉末颗粒透射电子显微镜试样的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1）、根据粉末颗粒的粒径尺寸选择平均孔洞尺寸略大于颗粒平均粒径的不含磁性的泡沫金属网，泡沫金属网的厚度为0.1mm-1mm，剪取可获得至少一个φ3mm面积的方形泡沫金属网备用；

步骤2）、取少量样品粉末均匀洒落在泡沫金属网上，粉末层厚度为泡沫金属网厚度的1/5-1/4为宜；

步骤3）、将泡沫金属网放于平台上，敲击或震动平台，使得粉末颗粒逐渐漏入泡沫金属网的孔洞中；

步骤4）、用镊子轻拿内部镶嵌有粉末颗粒的泡沫金属网，将其放于液压钳上，加压将泡沫金属网压扁；

步骤5）、压缩泡沫金属网按在砂纸上打磨，获得薄片；

步骤6）、将薄片放于TEM试样打孔器中，获得圆形薄片；

步骤7）、对圆形薄片进行离子减薄，即可获得薄区范围较大的TEM试样。

2.如权利要求1所述的粉末颗粒透射电子显微镜试样的制备方法，其特征在于：所述步骤5）中，薄片厚度为20μm-50μm。

3.如权利要求1或2所述的粉末颗粒透射电子显微镜试样的制备方法，其特征在于：所述步骤1）中，泡沫金属网是泡沫铜网或者泡沫镍网。