[发明专利]一种拉曼探针冷热台及其气体环境测试腔组件

权利要求书

1.一种拉曼探针冷热台用气体环境测试腔组件，包括外壳和外壳上盖板，外壳上盖板上设置有用于供显微镜拉曼观察的观察窗，其特征在于：所述外壳内设置有供芯片放置的载物台和用于向待检测芯片的相应极端电性连接的探针，外壳上设置有与外壳内腔连通的用于向外壳内腔通入试验气体或抽真空的气体接头，外壳上还设置有用于与对应探针电性连接的电接头，所述外壳内还设置有加热装置。

2.根据权利要求1所述的拉曼探针冷热台用气体环境测试腔组件，其特征在于：所述加热装置包括壳体，载物台为导热块，壳体上设置有供载物台放置的安装腔，导热块上设置有加热丝或加热棒，导热块上还设置有温度传感器。

3.根据权利要求2所述的拉曼探针冷热台用气体环境测试腔组件，其特征在于：所述壳体上设置有用于冷却载物台的载物台冷却结构，载物台冷却结构包括与安装腔均分别连通的第一冷却通道和第二冷却通道，外壳上设置有与第一冷却通道连通的第一冷却接头和与第二冷却通道连通的第二冷却接头。

4.根据权利要求3所述的拉曼探针冷热台用气体环境测试腔组件，其特征在于：所述外壳上设置有用于对外壳进行冷却的外壳冷却结构，外壳冷却结构包括设置于外壳底壁外侧面上的冷却槽和与冷却槽密封配合的冷却槽密封片，外壳上设置有与冷却槽的两端分别连通的第三冷却接头和第四冷却接头。

5.根据权利要求4所述的拉曼探针冷热台用气体环境测试腔组件，其特征在于：所述冷却槽在外壳侧壁上形成C形结构、U形结构以及一个长边具有缺口的矩形结构中的任意一种。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的拉曼探针冷热台用气体环境测试腔组件，其特征在于：所述探针的数量为两个以上，各探针通过调节结构活动安装于外壳的底壁上，以实现各探针与待检测芯片之间的位置调节，以适应不同规格的待检测芯片。

7.根据权利要求6所述的拉曼探针冷热台用气体环境测试腔组件，其特征在于：所述调节结构包括设置于外壳底壁上的导轨和与导轨导向移动安装的导向块，探针连接于导向块上，以实现探针水平远离或靠近载物台，导向块与导轨之间设置有锁紧螺钉。

8.根据权利要求7所述的拉曼探针冷热台用气体环境测试腔组件，其特征在于：各所述探针均通过探针安装柱转动安装于导向块上，导向块上设置有供探针安装柱转动安装的安装孔，并依靠探针安装柱与安装孔之间的摩擦力对探针安装柱位置进行固定。

9.根据权利要求1所述的拉曼探针冷热台用气体环境测试腔组件，其特征在于：所述外壳上盖板上设置有观察孔，观察窗包括密封安装于观察孔中的玻璃板，观察孔中于玻璃板的外侧还设置有压板，压板上设置有供操作扳手卡挚配合以拆卸玻璃板的卡槽。

10.一种拉曼探针冷热台，包括测试腔组件和设置于测试腔组件上方的显微镜，其特征在于：所述测试腔组件使用权利要求1-9中任一项所述拉曼探针冷热台用气体环境测试腔组件。