[发明专利]一种拉曼探针冷热台及其气体环境测试腔组件

说明书

本发明涉及一种拉曼探针冷热台及其气体环境测试腔组件，拉曼探针冷热台，包括测试腔组件和设置于测试腔组件上的显微镜，测试腔组件包括外壳和外壳上盖板，外壳上盖板上设置有供显微镜拉曼观察的观察窗，外壳内设置有供芯片放置的载物台和用于向待检测芯片的相应极端电性连接的探针，外壳上设置有与外壳内腔连通的用于向外壳内腔通入试验气体或抽真空的气体接头，外壳上还设置有用于与对应探针电性连接的电接头，所述外壳内还设置有加热装置。气体接头可以实现外壳内部的真空环境或者充入所需的不同试验气体环境，而且外壳内部设置有加热装置，可以实现在不同温度下的试验环境，功能多，通用性强，可以满足不同测试环境的要求，使用方便。

技术领域

本发明涉及测试设备领域，具体涉及一种拉曼探针冷热台及其气体环境测试腔组件。

背景技术

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、超导、集成电路等领域，用来测试芯片、气体传感器以及封装器件的测试。旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。探针台一般包括供芯片安装的测试腔组件和设置于测试腔组件上方的显微镜。例如半导体传感器在生产和研制过程中，需要对芯片进行检验和测试，半导体传感器外形是多样的，直径规格有多种，在测试过程中需要配合显微镜来对位探针到测试触点来测试电化学信号以及观察芯片表面物理现象（拉曼效应）进行观察。例如内含半导体传感器的气体传感器，可以感应检测周围易燃易爆或有毒气体的泄露浓度，对该气体传感器进行测试时，需要对测试腔组件中进行填充不同浓度的相应气体。针对不同的测试要求，可能还需要不同温度的测试环境以及不同真空度的测试环境等等，而现有的探针台功能单一，通用性差，导致使用不方便。

发明内容

本发明的目的是提供一种拉曼探针冷热台，以满足微电化学信号和光化学信号在不同环境下同时测试的需求；同时，本发明的目的还在于提供一种上述探针台所使用的气体环境测试腔组件。

为实现上述目的，本发明的一种拉曼探针冷热台用气体环境测试腔组件采用如下技术方案：一种拉曼探针冷热台用气体环境测试腔组件，包括外壳和外壳上盖板，外壳上盖板上设置有用于供显微镜拉曼观察的观察窗，所述外壳内设置有供芯片放置的载物台和用于向待检测芯片的相应极端电性连接的探针，外壳上设置有与外壳内腔连通的用于向外壳内腔通入试验气体或抽真空的气体接头，外壳上还设置有用于与对应探针电性连接的电接头，所述外壳内还设置有加热装置。

所述加热装置包括壳体，载物台为导热块，壳体上设置有供载物台放置的安装腔，导热块上设置有加热丝或加热棒，导热块上还设置有温度传感器。

所述壳体上设置有用于冷却载物台的载物台冷却结构，载物台冷却结构包括与安装腔均分别连通的第一冷却通道和第二冷却通道，外壳上设置有与第一冷却通道连通的第一冷却接头和与第二冷却通道连通的第二冷却接头。

所述外壳上设置有用于对外壳进行冷却的外壳冷却结构，外壳冷却结构包括设置于外壳底壁外侧面上的冷却槽和与冷却槽密封配合的冷却槽密封片，外壳上设置有与冷却槽的两端分别连通的第三冷却接头和第四冷却接头。

所述冷却槽在外壳侧壁上形成C形结构、U形结构以及一个长边具有缺口的矩形结构中的任意一种。

所述探针的数量为两个以上，各探针通过调节结构活动安装于外壳的底壁上，以实现各探针与待检测芯片之间的位置调节，以适应不同规格的待检测芯片。

所述调节结构包括设置于外壳底壁上的导轨和与导轨导向移动安装的导向块，探针连接于导向块上，以实现探针水平远离或靠近载物台，导向块与导轨之间设置有锁紧螺钉。

各所述探针均通过探针安装柱转动安装于导向块上，导向块上设置有供探针安装柱转动安装的安装孔，并依靠探针安装柱与安装孔之间的摩擦力对探针安装柱位置进行固定。

所述外壳上盖板上上设置有观察孔，观察窗包括密封安装于观察孔中的玻璃板，观察孔中于玻璃板的外侧还设置有压板，压板上设置有供操作扳手卡挚配合以拆卸玻璃板的卡槽。