[发明专利]显示器及其制造方法有效
| 申请号： | 201910746737.0 | 申请日： | 2019-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN110571349B | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 牛柏澄 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/52 | 分类号： | H01L51/52;H01L51/56;H01L27/32 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 显示器 及其 制造 方法 | ||
1.一种显示器的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：
S10提供刚性基板；
S20将所述刚性基板进行图案化，使所述刚性基板具有凹槽；
S30形成柔性层于经图案化的所述刚性基板上，其中所述柔性层具有第一厚度，且所述柔性层对应所述凹槽保形地形成凹陷区；
S40形成薄膜晶体管层以及深孔于所述柔性层上，其中所述深孔对应并连接所述凹陷区；以及
S50将所述刚性基板自所述柔性层移除,且一并移除在所述凹槽中的所述柔性层，使所述柔性层的所述凹陷区具有第二厚度，其中所述第二厚度小于所述第一厚度。
2.根据权利要求1所述的显示器的制造方法，其特征在于，在步骤S30中，所述柔性层的厚度均等。
3.根据权利要求1所述的显示器的制造方法，其特征在于，在步骤S30中，形成柔性层于经图案化的所述刚性基板上的方法包括涂布。
4.根据权利要求1所述的显示器的制造方法，其特征在于，在步骤S40与S50之间更包括填充有机光阻材料于所述深孔及所述凹陷区。
5.根据权利要求1所述的显示器的制造方法，其特征在于，在步骤S50中，将所述刚性基板自所述柔性层移除的方法包括雷射切割。
6.根据权利要求1所述的显示器的制造方法，其特征在于，所述显示器包括主动区以及排线区，其中
所述薄膜晶体管层位于所述主动区内，所述深孔位于所述排线区内；以及
所述刚性基板为玻璃基板，所述柔性层为聚酰亚胺层。
7.根据权利要求1所述的显示器的制造方法，其特征在于，所述显示器为柔性显示器，包括弯折区以及非弯折区，其中所述凹陷区对应所述柔性显示器的弯折区。
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H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
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