[发明专利]显示器及其制造方法有效
申请号: | 201910746737.0 | 申请日: | 2019-08-14 |
公开(公告)号: | CN110571349B | 公开(公告)日: | 2020-11-10 |
发明(设计)人: | 牛柏澄 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/52 | 分类号: | H01L51/52;H01L51/56;H01L27/32 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 显示器 及其 制造 方法 | ||
本发明提供了一种显示器及其制造方法,所述显示器的制造方法包括:提供刚性基板;将所述刚性基板进行图案化,使所述刚性基板具有凹槽;形成柔性层于经图案化的所述刚性基板上,其中所述柔性层具有一第一厚度,且所述柔性层对应所述凹槽保形地形成凹陷区;形成薄膜晶体管层以及深孔于所述柔性层上,其中所述深孔对应并连接所述凹陷区;以及将所述刚性基板自所述柔性层移除,且一并移除在所述凹槽中的所述柔性层,使所述柔性层的所述凹陷区具有一第二厚度,其中所述第二厚度小于所述第一厚度。
技术领域
本发明涉及一种显示器领域,尤其涉及一种显示器的柔性膜减薄技术。
背景技术
目前柔性主动矩阵有机发光二极体(active-matrix organic light-emittingdiode,AMOLED)显示屏100生产工艺过程中,首先会在玻璃基板110上涂覆一层聚酰亚胺(PI)120作为衬底,之后在PI层120上进行晶体管数组30的制程,如图1所示。随着全面屏手机的市场需求日益提高,对手机黑边宽度要求越来越高。因此在模组段,PI层120及集成电路(IC)140将弯折至基板背面以达到减少手机边缘黑边宽度的目的,如图2所示。然而,上述弯折存在一个技术风险:如图3所示,PI层120在弯折过程中存在较大内应力,PI层120容易变形并传递应力,导致分布其上的金属走线150受到压力而变形或折断,进而引起线路接触异常,导致AMOLED显示区信号异常,影响AMOLED发光稳定性,降低产品良率。
为了解决显示器在弯折过程中,柔性层(例如PI层)产生较大内应力,导致分布其上的金属走线受到压力而变形或折断的问题,亟需一种可将在显示器的弯折区的柔性膜减薄的技术。
发明内容
有鉴于此,本发明提供一种新的显示器及其制造方法,藉由在进行柔性层(例如PI层)成膜前先将刚性基板(例如玻璃基板)图案化,形成柔性层预留凹槽,在柔性层涂膜过程中,柔性层同时在预留图案区域下陷,但成膜厚度不变。在之后模组工艺中,利用雷射切割,将基板图案中的柔性层切除,使柔性层成功减薄。这样设计的优点在于玻璃图案化所需蚀刻区域小,工艺简单,易于实现。同时通过控制图案化凹槽深度可以进行不同厚度的柔性层减薄要求,达到防止走线断裂,提升良率的目的。除此之外,后续晶体管数组工艺不需要增加光罩,减少了工艺难度和成本。
据此,依据本发明的一实施例,本发明提供了一种显示器的制造方法,包括以下步骤:
S10 提供刚性基板;
S20 将所述刚性基板进行图案化,使所述刚性基板具有凹槽;
S30形成柔性层于经图案化的所述刚性基板上,其中所述柔性层具有一第一厚度,且所述柔性层对应所述凹槽保形地形成凹陷区;
S40 形成薄膜晶体管层以及深孔于所述柔性层上,其中所述深孔对应并连接所述凹陷区;以及
S50将所述刚性基板自所述柔性层移除, 且一并移除在所述凹槽中的所述柔性层,使所述柔性层的所述凹陷区具有一第二厚度,其中所述第二厚度小于所述第一厚度。
在依据本发明一实施例的显示器的制造方法中,在步骤S30中,所述柔性层的厚度均等。
在依据本发明一实施例的显示器的制造方法中,在步骤S30中,形成柔性层于经图案化的所述刚性基板上的方法包括涂布。
在依据本发明一实施例的显示器的制造方法中,在步骤S40与S50之间更包括填充有机光阻材料于所述深孔及所述凹陷区。
在依据本发明一实施例的显示器的制造方法中,在步骤S50中,将所述刚性基板自所述柔性层移除的方法包括雷射切割。
在依据本发明一实施例的显示器的制造方法中,所述显示器包括主动区以及排线区,其中所述薄膜晶体管层位于所述主动区内,所述深孔位于所述排线区内。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉华星光电半导体显示技术有限公司,未经武汉华星光电半导体显示技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910746737.0/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择