[发明专利]显示器及其制造方法有效

专利信息
申请号: 201910746737.0 申请日: 2019-08-14
公开(公告)号: CN110571349B 公开(公告)日: 2020-11-10
发明(设计)人: 牛柏澄 申请(专利权)人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L51/52 分类号: H01L51/52;H01L51/56;H01L27/32
代理公司: 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 代理人: 黄威
地址: 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 显示器 及其 制造 方法
【说明书】:

发明提供了一种显示器及其制造方法,所述显示器的制造方法包括:提供刚性基板;将所述刚性基板进行图案化,使所述刚性基板具有凹槽;形成柔性层于经图案化的所述刚性基板上,其中所述柔性层具有一第一厚度,且所述柔性层对应所述凹槽保形地形成凹陷区;形成薄膜晶体管层以及深孔于所述柔性层上,其中所述深孔对应并连接所述凹陷区;以及将所述刚性基板自所述柔性层移除,且一并移除在所述凹槽中的所述柔性层,使所述柔性层的所述凹陷区具有一第二厚度,其中所述第二厚度小于所述第一厚度。

技术领域

本发明涉及一种显示器领域,尤其涉及一种显示器的柔性膜减薄技术。

背景技术

目前柔性主动矩阵有机发光二极体(active-matrix organic light-emittingdiode,AMOLED)显示屏100生产工艺过程中,首先会在玻璃基板110上涂覆一层聚酰亚胺(PI)120作为衬底,之后在PI层120上进行晶体管数组30的制程,如图1所示。随着全面屏手机的市场需求日益提高,对手机黑边宽度要求越来越高。因此在模组段,PI层120及集成电路(IC)140将弯折至基板背面以达到减少手机边缘黑边宽度的目的,如图2所示。然而,上述弯折存在一个技术风险:如图3所示,PI层120在弯折过程中存在较大内应力,PI层120容易变形并传递应力,导致分布其上的金属走线150受到压力而变形或折断,进而引起线路接触异常,导致AMOLED显示区信号异常,影响AMOLED发光稳定性,降低产品良率。

为了解决显示器在弯折过程中,柔性层(例如PI层)产生较大内应力,导致分布其上的金属走线受到压力而变形或折断的问题,亟需一种可将在显示器的弯折区的柔性膜减薄的技术。

发明内容

有鉴于此,本发明提供一种新的显示器及其制造方法,藉由在进行柔性层(例如PI层)成膜前先将刚性基板(例如玻璃基板)图案化,形成柔性层预留凹槽,在柔性层涂膜过程中,柔性层同时在预留图案区域下陷,但成膜厚度不变。在之后模组工艺中,利用雷射切割,将基板图案中的柔性层切除,使柔性层成功减薄。这样设计的优点在于玻璃图案化所需蚀刻区域小,工艺简单,易于实现。同时通过控制图案化凹槽深度可以进行不同厚度的柔性层减薄要求,达到防止走线断裂,提升良率的目的。除此之外,后续晶体管数组工艺不需要增加光罩,减少了工艺难度和成本。

据此,依据本发明的一实施例,本发明提供了一种显示器的制造方法,包括以下步骤:

S10 提供刚性基板;

S20 将所述刚性基板进行图案化,使所述刚性基板具有凹槽;

S30形成柔性层于经图案化的所述刚性基板上,其中所述柔性层具有一第一厚度,且所述柔性层对应所述凹槽保形地形成凹陷区;

S40 形成薄膜晶体管层以及深孔于所述柔性层上,其中所述深孔对应并连接所述凹陷区;以及

S50将所述刚性基板自所述柔性层移除, 且一并移除在所述凹槽中的所述柔性层,使所述柔性层的所述凹陷区具有一第二厚度,其中所述第二厚度小于所述第一厚度。

在依据本发明一实施例的显示器的制造方法中,在步骤S30中,所述柔性层的厚度均等。

在依据本发明一实施例的显示器的制造方法中,在步骤S30中,形成柔性层于经图案化的所述刚性基板上的方法包括涂布。

在依据本发明一实施例的显示器的制造方法中,在步骤S40与S50之间更包括填充有机光阻材料于所述深孔及所述凹陷区。

在依据本发明一实施例的显示器的制造方法中,在步骤S50中,将所述刚性基板自所述柔性层移除的方法包括雷射切割。

在依据本发明一实施例的显示器的制造方法中,所述显示器包括主动区以及排线区,其中所述薄膜晶体管层位于所述主动区内,所述深孔位于所述排线区内。

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