[发明专利]一种用于管式PECVD设备的尾气粉尘捕捉装置

权利要求书

1.一种用于管式PECVD设备的尾气粉尘捕捉装置，其特征在于：包括捕捉腔室（1），所述捕捉腔室（1）内沿尾气的流动方向依次设有用于对尾气进行加热的加热区（11）、用于对尾气进行冷却的冷却区（12）、以及用于对尾气进行过滤的过滤区（13），所述加热区（11）配设有水汽输入管（7），Al（CH₃）₃在加热区分解并与水汽发生反应，同时利用水汽将粉尘颗粒粘结在一起以增加粉尘的粘性和颗粒直径，所述加热区（11）、所述冷却区（12）和所述过滤区（13）自下而上布置，所述加热区（11）内设有加热管（2）及与加热管（2）相连的多层加热隔板（3），各所述加热隔板（3）倾斜布置，相邻两层所述加热隔板（3）相互错开，所述冷却区（12）内设有冷却液输入管（5）、以及多层水平布置的第一冷却隔板（41），所述第一冷却隔板（41）下方设有多块倾斜布置的第二冷却隔板（42），多块所述第二冷却隔板（42）对称布置于所述第一冷却隔板（41）的两端，所述第一冷却隔板（41）和所述第二冷却隔板（42）上均设有流通孔（43）。

2.根据权利要求1所述的用于管式PECVD设备的尾气粉尘捕捉装置，其特征在于：所述加热管（2）呈S型布置。

3.根据权利要求1或2所述的用于管式PECVD设备的尾气粉尘捕捉装置，其特征在于：所述过滤区（13）内设有过滤钢丝网（6）。

4.根据权利要求1或2所述的用于管式PECVD设备的尾气粉尘捕捉装置，其特征在于：还包括底板（14）、捕捉罐（15）及顶板（16），所述底板（14）焊接于所述捕捉罐（15）的下端，所述顶板（16）焊接于所述捕捉罐（15）的上端。

5.根据权利要求1或2所述的用于管式PECVD设备的尾气粉尘捕捉装置，其特征在于：还包括用于测量加热区（11）温度的测温部件（8）及用于控制加热区（11）温度的控温部件。