[发明专利]一种用于管式PECVD设备的尾气粉尘捕捉装置

说明书

本发明公开了一种用于管式PECVD设备的尾气粉尘捕捉装置，包括捕捉腔室，所述捕捉腔室内沿尾气的流动方向依次设有用于对尾气进行加热的加热区、用于对尾气进行冷却的冷却区、以及用于对尾气进行过滤的过滤区，所述加热区配设有水汽输入管。本发明具有有利于捕捉尾气中的粉尘，将尾气中的Al(CH₃)₃进行分解、反应并捕捉等优点。

技术领域

本发明涉及管式PECVD设备，尤其涉及一种用于管式PECVD设备的尾气粉尘捕捉装置。

背景技术

在背钝化管式PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体增强化学的气相沉积法)工艺过程中，由于要通入Al(CH₃)₃、N₂O等气体，在反应过程中，会产生大量的Al₂O₃、Al粉尘以及反应不充分而产生的Al(CH₃)₃、N₂O尾气。尾气中的Al(CH₃)₃在真空泵抽除过程中，会进行分解或者反应，生成大量的粉尘。尾气中的粉尘和尾气中的Al(CH₃)₃分解或者反应产生的粉尘，容易沉积在真空泵中或者堵塞尾排口，会大大缩短真空泵的使用寿命以及设备的有效工作时间。现有的粉尘捕捉装置通过螺旋片增加尾气的流动路径以及与尾气的接触面积，从而提高粉尘的沉积。同时利用过滤网对粉尘进行过滤。现有的粉尘捕捉装置的缺在于：1、Al(CH₃)₃反应产生的粉尘为颗粒状，并且粉尘捕捉装置紧连着真空泵，真空泵的抽力非常大，导致尾气中的粉尘很难附着在螺旋片上；2、Al(CH₃)₃反应产生的粉尘的颗粒直径非常小，而过滤网的孔径远大于颗粒直径，因此过滤网很难将粉尘进行过滤拦截。

发明内容

本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种有利于捕捉尾气中的粉尘，将尾气中的Al(CH₃)₃进行分解、反应并捕捉的用于管式PECVD设备的尾气粉尘捕捉装置。

为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

一种用于管式PECVD设备的尾气粉尘捕捉装置，包括捕捉腔室，所述捕捉腔室内沿尾气的流动方向依次设有用于对尾气进行加热的加热区、用于对尾气进行冷却的冷却区、以及用于对尾气进行过滤的过滤区，所述加热区配设有水汽输入管。

作为上述技术方案的进一步改进：所述加热区、所述冷却区和所述过滤区自下而上布置。

作为上述技术方案的进一步改进：所述加热区内设有加热管及与加热管相连的多层加热隔板，各所述加热隔板倾斜布置，相邻两层所述加热隔板相互错开。

作为上述技术方案的进一步改进：所述加热管呈S型布置。

作为上述技术方案的进一步改进：所述冷却区内设有冷却液输入管、以及多层水平布置的第一冷却隔板，所述第一冷却隔板下方设有多块倾斜布置的第二冷却隔板，多块所述第二冷却隔板对称布置于所述第一冷却隔板的两端，所述第一冷却隔板和所述第二冷却隔板上均设有流通孔。

作为上述技术方案的进一步改进：所述过滤区内设有过滤钢丝网。

作为上述技术方案的进一步改进：用于管式PECVD设备的尾气粉尘捕捉装置还包括底板、捕捉罐及顶板，所述底板焊接于所述捕捉罐的下端，所述顶板焊接于所述捕捉罐的上端。

作为上述技术方案的进一步改进：还包括用于测量加热区温度的测温部件及用于控制加热区温度的控温部件。