[发明专利]硅棒上料装置

权利要求书

1.一种硅棒上料装置，用于将放置于一储料区的待切割硅棒转移至一切割设备的切割工作区，其特征在于，包括：

第一转轴，藉由一第一驱动装置驱动旋转；以及

至少二摆臂组件，依据预设间隔分别轴接于所述第一转轴上，所述至少二摆臂组件用以承载所述待切割硅棒，并在所述第一转轴的驱动下将所述待切割硅棒转移至所述切割设备的切割工作区；各所述摆臂组件包括轴接于所述第一转轴的摆臂本体以及设置于所述摆臂本体的承托机构，所述承托机构用于跟随所述摆臂的运动以使其承托部在转移作业时，保持处于承载所述待切割硅棒的状态。

2.根据权利要求1所述的硅棒上料装置，其特征在于，所述承托机构包括一机械手，设置于所述摆臂本体的末端，用于跟随所述摆臂的运动以使其承托部在转移作业时保持处于承载所述待切割硅棒的状态。

3.根据权利要求1所述的硅棒上料装置，其特征在于，还包括与所述摆臂组件一一对应的至少二转运台，设置在所述切割设备的机座上，用于分别将所述至少二摆臂组件依据预设间隔分别轴接于所述第一转轴上。

4.根据权利要求3所述的硅棒上料装置，其特征在于，所述至少二转运台包括在所述储料区与所述切割工作区之间直线位移的第一运动机构。

5.根据权利要求3所述的硅棒上料装置，其特征在于，所述至少二转运台包括令至少一摆臂组件在所述第一转轴上直线位移的第二运动机构以调节所述至少二摆臂组件的间隔距离。

6.根据权利要求5所述的硅棒上料装置，其特征在于，所述摆臂组件4个，包括分别设置于所述第一转轴的两端的第一摆臂组件与第二摆臂组件，及依据预设间隔分别轴接于所述第一转轴的两端之间的第三摆臂组件与第四摆臂组件。

7.根据权利要求6所述的硅棒上料装置，其特征在于，所述第三摆臂组件或第四摆臂组件的转运台包括在所述第一转轴上直线位移的第二运动机构。

8.根据权利要求3所述的硅棒上料装置，其特征在于，还包括由一第二驱动装置驱动的第二转轴，所述第二转轴与所述第一转轴平行，所述第二驱动装置跟随所述第一驱动装置工作状态输出对应的转速或/及转角给所述第二转轴。

9.根据权利要求8所述的硅棒上料装置，其特征在于，所述第一驱动装置及所述第二驱动装置分别设置于第一转轴或所述第二转轴的相对两端。

10.根据权利要求8所述的硅棒上料装置，其特征在于，所述第二转轴轴接于所述摆臂组件上，并位于所述摆臂本体上的第一转轴与所述承托机构之间。

11.根据权利要求10所述的硅棒上料装置，其特征在于，所述承托机构包括：机械手组件，设置于所述摆臂本体的末端，包括：机械手本体，以及活动设置于所述机械手本体上用于承载所述待切割硅棒的承托件，所述承托件动力连接所述第二转轴，并在第二转轴转动时带动所述承托件在所述机械手本体转动，以使所述承托件在转移作业时保持处于承载所述待切割硅棒的状态。

12.根据权利要求10所述的硅棒上料装置，其特征在于，所述摆臂本体具有一内置空间。

13.根据权利要求12所述的硅棒上料装置，其特征在于，所述承托机构包括：

主动齿轮，设置于所述摆臂本体的内置空间中，并轴接于所述第二转轴，用于在所述第二转轴驱动下转动；

被动齿轮，轴接于所述摆臂本体的内置空间中，并与所述主动齿轮相啮合；

机械手组件，设置于所述摆臂本体的末端，包括机械手本体，以及活动设置于所述机械手本体上用于承载所述待切割硅棒的承托件，所述承托件包括与所述被动齿轮相啮合的齿部，以及用于顺应所述待切割硅棒的外轮廓的承托部。