[发明专利]一种等离子化学气相沉积织物线材纳米疏水膜的制备方法

权利要求书

1.一种等离子化学气相沉积织物线材纳米疏水膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）、前处理：超声波表面活性剂溶液清洗；

（2）、等离子气体活化处理：在反应腔内，等离子活化气体对清洁后的织物线材进行处理；

（3）、镀膜：汽化的镀膜材料进入反应腔，在真空度下，等离子气体载气与汽化的镀膜材料进行碰撞反应，在织物线材表面沉积形成纳米膜；

（4）、净化：反应腔内破真空；

（5）、后处理：将反应腔中的镀有纳米膜的织物线材取出，进行密封包装处理；

所述步骤（2）中，等离子气体活化处理的步骤为：在反应腔内，先以O₂进行氧化活化处理25-35min，再以Ar或He进行等离子活化处理25-35min；

所述织物线材为电子线材，所述织物线材的颜色为黑色或深绿色；

所述步骤（3）中采用至少两种镀膜材料进行多次叠加镀膜，形成纳米膜：

（31）、镀下层膜，下层镀膜材料在加热杯中汽化后进入反应腔，下层镀膜材料加入加热杯的流量为2.0-8.0 μL/s，加热杯的加热温度为80-100℃，反应腔温度控制在25-45℃、真空度控制在0.04-0.1mbar，射频电源提供连续波200-500W，维持反应10-20min，膜层厚度达到60-200nm；

（32）、镀上层膜，上层镀膜材料在加热杯中汽化后进入反应腔，上层镀膜材料加入加热杯的流量为1.0-6.0 μL/s，加热杯的加热温度为80-100℃，反应腔温度控制在25-45℃、真空度控制在0.04-0.1mbar，射频电源提供脉冲波100-400W，维持反应10-20min，膜层厚度达到60-200nm；

镀上层膜时的上层镀膜材料加入加热杯的流量小于镀下层膜时的流量；镀上层膜时射频电源提供脉冲波功率低于镀下层膜时的射频电源提供连续波功率。

2.根据权利要求1所述的等离子化学气相沉积织物线材纳米疏水膜的制备方法，其特征在于，所述表面活性剂溶液中的表面活性剂为阴离子型表面活性剂。

3.根据权利要求1所述的等离子化学气相沉积织物线材纳米疏水膜的制备方法，其特征在于，所述表面活性剂溶液包括以重量份计的表面活性剂0.5-2份和去离子水15-25份。

4.根据权利要求1所述的等离子化学气相沉积织物线材纳米疏水膜的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）包括以下子步骤：

（11）、超声波表面活性剂溶液清洗25-35min；

（12）、超声波清水清洗5-15min；

（13）、热风烘干25-35min；

（14）、恒温恒湿烘干。

5.根据权利要求1所述的等离子化学气相沉积织物线材纳米疏水膜的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）中，反应腔内的真空度保持在0.06-0.1mbar范围内，O₂通入反应腔的气体流量为800-1600μL/s，Ar或He通入反应腔的气体流量为800-1600μL/s。

6.根据权利要求1所述的等离子化学气相沉积织物线材纳米疏水膜的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）中，在等离子气体活化处理之前，将金属基材放置在反应腔的网架上，并在网架上预先铺设一层多孔布，且在金属基材表面遮盖一层多孔布。

7.根据权利要求1所述的等离子化学气相沉积织物线材纳米疏水膜的制备方法，其特征在于，在所述步骤（3）中，下层镀膜材料和上层镀膜材料均为疏水材料，分子结构均为R-Si-(OR_X)₃，其中，-R为多碳长链烷基，碳原子数量3-16；-R_X为-Cl、-CH₃、-C₂H₅其中一种或者多种。

8.根据权利要求1所述的等离子化学气相沉积织物线材纳米疏水膜的制备方法，其特征在于，所述步骤（4）中，反应腔内破真空的时间为1-3min。