[发明专利]传片系统及光刻机

权利要求书

1.一种传片系统，其特征在于，包括：传送轨道(100)和预对准机构(200)；

所述传送轨道(100)两侧边缘设有贴片(110)，所述贴片(110)配置成传送过程中避免被加工工件与所述传送轨道(100)的工作面摩擦；

所述预对准机构(200)包括分别位于所述传送轨道(100)两侧的驱动导轮(210)和预对准定位轮(220)，所述驱动导轮(210)上设有第一导轮槽(211)，所述驱动导轮(210)配置成与所述预对准定位轮(220)配合抵接所述被加工工件，且驱动卡入所述第一导轮槽(211)内的所述被加工工件旋转。

2.根据权利要求1所述的传片系统，其特征在于，所述贴片(110)采用铁氟龙材料制作而成。

3.根据权利要求1所述的传片系统，其特征在于，所述传送轨道(100)上设有传送气孔(120)，所述传送气孔(120)朝向所述被加工工件的传送方向倾斜，以吹动所述被加工工件移动。

4.根据权利要求3所述的传片系统，其特征在于，所述传送气孔(120)包括轴线重合且彼此连通的第一腔体(121)和第二腔体(122)，所述第一腔体(121)的轴线朝向所述被加工工件的传送方向倾斜；

所述第一腔体(121)靠近所述传送轨道(100)的工作面且所述第一腔体(121)的内径小于所述第二腔体(122)的内径。

5.根据权利要求1所述的传片系统，其特征在于，所述第一导轮槽(211)位于所述驱动导轮(210)靠近所述传送轨道(100)工作面的一端，且所述第一导轮槽(211)为V型槽。

6.根据权利要求1所述的传片系统，其特征在于，所述预对准定位轮(220)上设有第二导轮槽(221)，所述第二导轮槽(221)位于所述预对准定位轮(220)靠近所述传送轨道(100)工作面的一端。

7.根据权利要求1所述的传片系统，其特征在于，所述传片系统还包括吸附机构(300)，沿所述被加工工件传送方向，所述吸附机构(300)位于所述预对准机构(200)前方；

所述吸附机构(300)包括吸附部(310)，所述吸附部(310)上设有多个吸盘(311)，多个所述吸盘(311)沿所述传送轨道(100)的延伸方向间隔设置。

8.根据权利要求7所述的传片系统，其特征在于，所述吸盘(311)采用橡胶材料制成。

9.根据权利要求7所述的传片系统，其特征在于，所述传片系统还包括承片台(400)，沿所述被加工工件传送方向，所述承片台(400)位于所述吸附机构(300)前方；

所述承片台(400)上设有反吹气孔(410)，所述反吹气孔(410)配置成始终使所述被加工工件浮于所述承片台(400)上方。

10.一种光刻机，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的传片系统。