[发明专利]一种光学加工系统及光学加工方法

权利要求书

1.一种光学加工系统，其特征在于，包括：光加工模块、离轴透射式数字全息模块和数字全息图记录器件；其中，

所述光加工模块和离轴透射式数字全息模块包括共路设置的共路模块；所述共路模块包括：第一分光棱镜、4F系统和第一物镜，所述4F系统设置于所述第一分光棱镜与所述第一物镜之间；

位于所述光加工模块中的所述共路模块，用于对紫外加工光束进行收集和准直处理后向待加工对象传输，以对所述待加工对象进行光学加工；

位于所述离轴透射式数字全息模块中的所述共路模块，用于对第一光束进行准直处理后向所述待加工对象传输，以使所述第一光束经过所述待加工对象后成为携带待加工对象信息的物光；

所述数字全息图记录器件，用于根据所述物光和所述离轴透射式数字全息模块提供的参考光记录所述待加工对象的数字全息图，所述数字全息图用于表征所述待加工对象的三维结构信息；

其中，所述参考光和所述第一光束为相干光。

2.根据权利要求1所述的光学加工系统，其特征在于，位于所述光加工模块中的所述第一分光棱镜，用于透射所述紫外加工光束；

位于所述离轴透射式数字全息模块中的所述第一分光棱镜，用于反射所述第一光束；

位于所述光加工模块中的所述4F系统，用于对所述紫外加工光束进行收集和准直处理；

位于所述离轴透射式数字全息模块中的所述4F系统，用于对所述第一光束进行准直处理；

位于所述光加工模块中的所述第一物镜，用于获取所述紫外加工光束并向所述待加工对象传输；

位于所述离轴透射式数字全息模块中的所述第一物镜，用于配合所述离轴透射式数字全息模块中的第二物镜构成共聚焦物镜组，以对所述待加工对象进行放大。

3.根据权利要求2所述的光学加工系统，其特征在于，所述离轴透射式数字全息模块还包括：由第一反射镜、滤光片和所述第二物镜构成的紫外光阻断单元；

所述第一反射镜用于将共路传播的紫外加工光束和物光向所述滤光片反射；

所述滤光片用于滤除与所述物光共路传播的紫外加工光束，以使携带有待加工对象信息的物光通过。

4.根据权利要求2所述的光学加工系统，其特征在于，所述4F系统包括：

相对设置的第一透镜和第二透镜。

5.根据权利要求1所述的光学加工系统，其特征在于，所述光加工模块还包括：第一光源单元；

所述第一光源单元包括：第一发光源、第一扩束准直单元、第一光阑、全内反射棱镜和波前调制器件；

所述第一发光源出射的紫外光束依次经过所述第一扩束准直单元的扩束准直处理和第一光阑的光束调节处理后进入所述全内反射棱镜中，并在所述全内反射棱镜中多次反射后向所述波前调制器件出射，所述波前调制器件用于对入射的紫外光束进行波前调制后形成所述紫外加工光束出射。

6.根据权利要求5所述的光学加工系统，其特征在于，所述第一光源单元还包括：位于所述第一光阑与所述全内反射棱镜之间的第二反射镜；

所述第二反射镜用于将从所述第一光阑出射的紫外光束向所述全内反射棱镜反射，经过第二反射镜反射的紫外光束在所述全内反射棱镜中多次反射后向所述波前调制器件出射，以使所述波前调制器件对入射的紫外光束进行波前调制后形成所述紫外加工光束出射。

7.根据权利要求1所述的光学加工系统，其特征在于，所述离轴透射式数字全息模块还包括：第二光源单元、光束分束比调节单元和第二分光棱镜；其中，

所述第二光源单元，用于提供第一激光；

所述光束分束比调节单元，用于对所述第一激光进行分束处理形成第一光束和第二光束，并对所述第一光束和第二光束进行光强分束比调节处理，以获得所述第一光束和所述参考光；

所述第二分光棱镜，用于将入射的物光和所述参考光共路后向所述数字全息图记录器件传输。