[发明专利]一种光学加工系统及光学加工方法

说明书

本申请公开了一种光学加工系统及光学加工方法，光学加工系统的光加工模块和离轴透射式数字全息模块中包括共路设置的共路模块，该共路模块将光加工模块和离轴透射式数字全息模块有机结合为一个全新的光学加工系统，使得该系统在实现对待加工对象的光学加工功能的基础上，同时能够获取表征待加工对象的三维结构信息的数字全息图，以使技术人员可以根据待加工对象的三维结构信息实现更加精细的加工过程。相较于传统的光学加工系统只能将待加工对象在加工完成后，拿到成像系统中进行成像的“离线”过程，本申请提供的系统可以实现在光加工的同时，利用离轴透射式数字全息模块进行待加工对象的实时三维结构信息获取的“实时、在线反馈”的目的。

技术领域

本申请涉及光学加工技术领域，更具体地说，涉及一种光学加工系统及光学加工方法。

背景技术

光学加工系统是指利用特定波长的光线作为加工光束对待加工对象进行三维结构加工的系统。

经由光学加工系统加工后的待加工对象成为具有特定结构的微结构，可用于生物体器件的微组织生长等。

现有技术中的光学加工系统均只能实现对待加工对象的光加工过程，却无法实现加工过程中对于待加工对象的加工过程的监测，即无法获悉在微结构加工过程中待加工对象的实时表面形态，使得技术人员无法利用光学加工系统实现精细的微结构加工。

发明内容

为解决上述技术问题，本申请提供了一种光学加工系统及光学加工方法，以在对待加工对象进行光学加工的同时，实现获取待加工对象的三维结构信息的目的，使得技术人员可以在对待加工对象进行光学加工的同时，获悉待加工对象在加工过程中的实时三维结构信息，使得技术人员可以根据待加工对象的三维结构信息实现更加精细的加工过程。

为实现上述技术目的，本申请实施例提供了如下技术方案：

一种光学加工系统，包括：光加工模块、离轴透射式数字全息模块和数字全息图记录器件；其中，

所述光加工模块和离轴透射式数字全息模块包括共路设置的共路模块；

位于所述光加工模块中的所述共路模块，用于对紫外加工光束进行收集和准直处理后向待加工对象传输，以对所述待加工对象进行光学加工；

位于所述离轴透射式数字全息模块中的所述共路模块，用于对第一光束进行准直处理后向所述待加工对象传输，以使所述第一光束经过所述待加工对象后成为携带待加工对象信息的物光；

所述数字全息图记录器件，用于根据所述物光和所述离轴透射式数字全息模块提供的参考光记录所述待加工对象的数字全息图，所述数字全息图用于表征所述待加工对象的三维结构信息；

其中，所述参考光和所述第一光束为相干光。

可选地，所述共路模块包括：第一分光棱镜、4F系统和第一物镜；其中，

位于所述光加工模块中的所述第一分光棱镜，用于透射所述紫外加工光束；

位于所述离轴透射式数字全息模块中的所述第一分光棱镜，用于反射所述第一光束；

位于所述光加工模块中的所述4F系统，用于对所述紫外加工光束进行收集和准直处理；

位于所述离轴透射式数字全息模块中的所述4F系统，用于对所述第一光束进行准直处理；

位于所述光加工模块中的所述第一物镜，用于获取所述紫外加工光束并向所述待加工对象传输；

位于所述离轴透射式数字全息模块中的所述第一物镜，用于配合所述离轴透射式数字全息模块中的第二物镜构成共聚焦物镜组，以对所述待加工对象进行放大。

可选地，所述离轴透射式数字全息模块还包括：由第一反射镜、滤光片和所述第二物镜构成的紫外光阻断单元；