[发明专利]智能暖机方法及系统

权利要求书

1.一种智能暖机方法，其特征在于，所述方法包括：

判断当前腔室的空置时间是否大于预设时间；

若判断结果为是，对所述当前腔室进行智能暖机；

若判断结果为否，获取所述当前腔室的智能暖机模式；

若所述智能暖机模式表征为无需分析智能暖机所需的工艺配方，则直接对所述当前腔室进行智能暖机。

2.根据权利要求1所述的智能暖机方法，其特征在于，该方法还包括智能控制单元；以及

在判断当前腔室的空置时间是否大于预设时间之前，通过所述智能控制单元，预先设置所述智能暖机所需的多个参量；

对所述当前腔室进行智能暖机，是指：通过运行智能控制单元，控制拾取装置拾取置于机台上的暖机片，并将该暖机片置入当前腔室中，控制机台对所述暖机片进行暖机工艺，以促使当前腔室内壁形成一定量的沉积物、使得当前腔室内部环境达到所需的加工状态。

3.根据权利要求2所述的智能暖机方法，其特征在于，若所述智能暖机模式表征为需要对当前腔室采用的工艺配方与所述当前腔室加工上一个暖机片所采用的工艺配方做判断，则判断所述当前腔室采用的工艺配方与所述当前腔室加工上一个暖机片所采用的工艺配方是否相同；

若判断结果为不相同，则对所述当前腔室进行所述智能暖机。

4.根据权利要求2或3所述的智能暖机方法，其特征在于，若所述智能暖机模式表征为需要对当前腔室采用的工艺配方与所述当前腔室加工上一个工艺所采用的工艺配方做判断，则判断所述当前腔室采用的工艺配方与所述当前腔室加工上一个工艺所采用的工艺配方是否在同一配方组中；

若不在同一所述配方组，则对所述当前腔室进行所述智能暖机。

5.根据权利要求2所述的智能暖机方法，其特征在于，在对当前腔室的空置时间做判断之前，还包括：

获取预先设置完成的、且能够满足所述智能暖机所需的多个参量，包括：段位编号、模式信息、工艺配方信息、系统开关状态信息、空置信息、晶片配方信息、暖机次数和暖机模式信息。

6.根据权利要求2所述的智能暖机方法，其特征在于，在对当前腔室的空置时间做判断之前，还包括：

判断所述智能控制单元是否处于上电开启状态；

如果判断结果为开启，则判断智能暖机功能开关是否处于开启状态；所述智能暖机功能开关与所述智能控制单元电连接；

如果判断结果为开启，则判断当前腔室的空置时间是否大于预设时间。

7.一种智能暖机系统，其特征在于，包括：

判断模块，用于判断当前腔室的空置时间是否大于预设时间，并在当前腔室的空置时间大于预设时间时，控制暖机模块工作；在当前腔室的空置时间小于或等于预设时间时，控制获取模块工作；

所述暖机模块用于向所述当前腔室发送智能暖机的控制信号；

所述获取模块用于获取所述当前腔室的智能暖机模式，并在所述智能暖机模式表征为无需分析智能暖机所需的工艺配方时，直接控制所述暖机模块工作。

8.一种智能暖机系统，包括：腔室、机台以及置于机台上的拾取装置，所述腔室的数量至少为一个；其特征在于，还包括：智能控制单元；

所述智能控制单元用于判断当前腔室的空置时间是否大于预设时间，若判断结果为是，控制所述拾取装置拾取置于机台上的暖机片，并将所述暖机片置于当前腔室中，控制所述机台对所述暖机片施加工艺，以促使当前腔室内壁形成一定量的沉积物、使得当前腔室内部环境达到所需的加工状态；

所述智能控制单元还用于在当前腔室的空置时间小于或等于预设时间时，获取当前腔室的智能暖机模式，并在所述智能暖机模式表征为无需分析智能暖机所需的工艺配方时，直接控制所述拾取装置拾取置于机台上的暖机片，并将所述暖机片置于当前腔室中，控制所述机台对所述暖机片施加工艺，以促使当前腔室内壁形成一定量的沉积物、使得当前腔室内部环境达到所需的加工状态。