[发明专利]产生极紫外光辐射的装置在审
| 申请号： | 201910760768.1 | 申请日： | 2019-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN110837209A | 公开（公告）日： | 2020-02-25 |
| 发明（设计）人： | 谢劼;陈冠宏;许峻嘉;简上傑;刘柏村;陈立锐;郑博中 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 产生 紫外 光辐射 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种产生极紫外光辐射的装置，其特征在于，该装置包含：
一液滴产生器，配置以产生多个目标液滴；
一激发激光，配置以使用多个激发脉冲来加热所述多个目标液滴，以转换所述多个目标液滴为一电浆；
一能量侦测器，配置以量测于一极紫外光能量中的一变化，其中该极紫外光能量是于所述多个目标液滴转换为该电浆时所产生；以及
一反馈控制器，配置以基于该极紫外光能量中的该变化，来调整该液滴产生器或该激发激光的至少一者的一参数。
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