[发明专利]一种显示面板的制造方法以及掩模板在审
申请号: | 201910767474.1 | 申请日: | 2019-08-20 |
公开(公告)号: | CN112420966A | 公开(公告)日: | 2021-02-26 |
发明(设计)人: | 陈婷 | 申请(专利权)人: | 上海和辉光电有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;C23C14/04 |
代理公司: | 上海隆天律师事务所 31282 | 代理人: | 崔祥;钟宗 |
地址: | 201506 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 显示 面板 制造 方法 以及 模板 | ||
1.一种掩模板,其特征在于,所述掩模板具有在蒸镀工艺中朝向基板的第一表面和背离所述基板的第二表面,所述基板设有像素定义层,所述像素定义层具有多个开口区域,所述像素定义层位于各个所述开口区域之间的表面设有支撑凸起,所述掩模板包括:
多个开口部,与所述掩模板的所述开口部相对应的待蒸镀的开口区域相邻的所述支撑凸起和所述基板的第一表面相抵触;
多个凹陷部,每个所述凹陷部自所述掩模板的第一表面向背离所述基板的一侧凹陷,每一所述凹陷部的表面和一个与待蒸镀的所述开口区域不相邻的所述支撑凸起相对并且相间隔。
2.根据权利要求1所述的掩模板,其特征在于,所述凹陷部包括半球形凹陷部、圆柱形凹陷部、球冠形凹陷部或矩形凹陷部。
3.根据权利要求1所述的掩模板,其特征在于,在所述掩模板中所述凹陷部以外的局部第一表面设有缓冲膜,所述缓冲膜的表面与对应的所述支撑凸起相抵触。
4.根据权利要求1所述的掩模板,其特征在于,所述凹陷部的深度大于等于所述像素定义层的厚度与所述支撑凸起的高度之和。
5.根据权利要求4所述的掩模板,其特征在于,所述掩模板的厚度大于30um。
6.根据权利要求5所述的掩模板,其特征在于,述支撑凸起的高度为0.5~2.45um。
7.根据权利要求1所述的掩模板,其特征在于,位于待蒸镀的所述开口区域两侧的相邻的所述支撑凸起之间的间距大于等于所述开口部的宽度。
8.根据权利要求1所述的掩模板,其特征在于,待蒸镀的所述开口区域包括第一开口区域,其它的所述开口区域包括第二开口区域和第三开口区域,其中,所述第一开口区域用于形成红色子像素,所述第二开口区域用于形成绿色子像素,所述第三开口区域用于形成蓝色子像素。
9.一种显示面板的制造方法,其特征在于,包括以下步骤:
提供一基板,所述基板设有像素定义层,所述像素定义层具有多个对应N种颜色发光材料的开口区域,所述像素定义层位于各个所述开口区域之间的表面设有支撑凸起;
提供N道如权利要求1中所述的掩模板,每道掩模板各自的开口部分别对应一种颜色发光材料的所有的所述开口区域,通过所述N道掩模板分别向所述基板的所述开口区域蒸镀对应颜色发光材料;
在每道所述掩模板的蒸镀过程中,对应待蒸镀发光材料的所述掩模板的所述开口部的所述支撑凸起和所述基板的第一表面相抵触;所述掩模板的凹陷部的表面与其它发光材料对应的所述开口区域相邻的所述支撑凸起相对并且间隔设置。
10.根据权利要求9所述的制造方法,其特征在于,所述基板的每个支撑凸起仅与N道所述掩模板中的一道所述掩模板的所述第一表面接触一次。
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