[发明专利]一种显示面板的制造方法以及掩模板在审
申请号: | 201910767474.1 | 申请日: | 2019-08-20 |
公开(公告)号: | CN112420966A | 公开(公告)日: | 2021-02-26 |
发明(设计)人: | 陈婷 | 申请(专利权)人: | 上海和辉光电有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;C23C14/04 |
代理公司: | 上海隆天律师事务所 31282 | 代理人: | 崔祥;钟宗 |
地址: | 201506 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 显示 面板 制造 方法 以及 模板 | ||
本发明公开了一种显示面板的制造方法以及掩模板,包括:多个开口部,与所述掩模板的所述开口部相对应的待蒸镀的开口区域相邻的所述支撑凸起和所述基板的第一表面相抵触;多个凹陷部,每个所述凹陷部自所述掩模板的第一表面向背离所述基板的一侧凹陷,每一所述凹陷部的表面和一个与待蒸镀的所述开口区域不相邻的所述支撑凸起相对并且相间隔。本发明通过在掩模板上开设凹陷部,从而使得掩模板的表面只与开口部周围的支撑凸起相抵触,避免了基板上与凹陷部相对的支撑凸起与掩模板表面的接触,进而减少了由于掩模板和支撑凸起接触而产生的颗粒,提高了产品的良率。
技术领域
本发明涉及的是一种OLED面板制造领域的技术,具体是一种显示面板的制造方法以及掩模板。
背景技术
有机电致发光(EL)器件已经问世多年,最简单形式的有机发光器件是由以下结构组件:用于通过空穴注入的阳极、用于电子注入的阴极以及夹在阴极和阳极之间的导致发光的有机介质。这些有机发光器件通常被称为有机发光二极管(OLED)。OLED显示装置具有薄、轻、宽视角等优点。
OLED的显示基板具有多个子像素,每个子像素具有由有机材料形成的有机发光层,不同颜色的有机发光材料使得子像素呈现处不同颜色的发光状态。在基板上形成有子像素的有机发光层时需要使用掩模板。
图1是一种现有的掩模板与基板配合示意图。掩模板41’位于基板10’的下方,在基板10’上设有像素定义层20’,像素定义层20’上开设有多个开口区域21’,掩模板41’开设有开口部411’,在像素定义层20’和掩模板41’之间设有支撑凸起30’,该支撑凸起30’用于避免掩模板41’的表面直接与像素定义层20’接触进而可以防止掩模板41’的表面颗粒掉落基板10的各膜层中。在蒸镀过程中,有机材料沿着蒸镀方向50’透过开口部411’从而沉积于开口区域21’内形成发光层。但是,图1中的支撑凸起30’的有机材料会残留在掩模板41’上或者掩模板41’会刮掉部分支撑凸起30’形成颗粒,残留在掩模板41’上的有机材料或颗粒会掉落在后续的其它基板上,易使后续的其它基板上层覆盖的薄膜封装层断裂,从而导致水氧入侵,使得基于后续的其它基板制成的OLED面板失效。
图2是一种正常的显示面板的结构示意图。图3是一种失效的显示面板的结构示意图。图2中示出的显示面板的薄膜封装层60’中不含颗粒70’,而图3中示出的显示面板的薄膜封装层60’中含有颗粒70’,该颗粒70’即是掩模板41’会刮掉部分支撑凸起30’形成的。图4中示出的显示面板的颗粒70’处的薄膜封装层60’发生断裂后,导致水氧入侵,进而使得图3中示出显示面板失效。
发明内容
针对现有技术存在的问题,本发明的目的在于提供一种显示面板的制造方法以及掩模板,通过在掩模板上开设凹陷部,从而使得掩模板的表面只与开口部周围的支撑凸起相抵触,避免了基板上与凹陷部相对的支撑凸起与掩模板表面的接触,进而减少了由于掩模板和支撑凸起接触而产生的颗粒,提高了产品的良率。
根据本发明的一个方面提供一种掩模板,所述掩模板具有在蒸镀工艺中朝向基板的第一表面和背离所述基板的第二表面,所述基板设有像素定义层,所述像素定义层具有多个开口区域,所述像素定义层位于各个所述开口区域之间的表面设有支撑凸起,所述掩模板包括:
多个开口部,与所述掩模板的所述开口部相对应的待蒸镀的开口区域相邻的所述支撑凸起和所述基板的第一表面相抵触;
多个凹陷部,每个所述凹陷部自所述掩模板的第一表面向背离所述基板的一侧凹陷,每一所述凹陷部的表面和一个与待蒸镀的所述开口区域不相邻的所述支撑凸起相对并且相间隔。
优选的,所述凹陷部包括半球形凹陷部、圆柱形凹陷部、球冠形凹陷部或矩形凹陷部。
优选的,在所述掩模板中所述凹陷部以外的局部第一表面设有缓冲膜,所述缓冲膜的表面与对应的所述支撑凸起相抵触。
优选的,所述凹陷部的深度大于等于所述像素定义层的厚度与所述支撑凸起的高度之和。
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