[发明专利]晶舟伸展装置及半导体加工设备

说明书

本发明提供一种晶舟伸展装置及半导体加工设备，包括逐级连接的多个直线驱动装置和设置在各个直线驱动装置上的连接滑块；每级直线驱动装置用于驱动位于该级别以下的所有直线驱动装置整体沿水平方向移动；最下级的直线驱动装置用于与晶舟连接；直线驱动装置与连接滑块成套设置。本发明提供的晶舟伸展装置及半导体加工设备能够水平运载晶舟，并具备良好的稳定性，且装配简单便捷，从而提高生产效率及生产稳定性。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，具体地，涉及一种晶舟伸展装置及半导体加工设备。

背景技术

在竞争激烈的光伏晶硅电池行业中，电池片的效率高低和产能大小决定了企业的经济效益，而对企业提供生产设备的提供商而言，设备的运行速度、产能大小和稳定性则是关系客户满意度和购买意向的关键指标。

在等离子体增强化学的气相沉积法(Plasma Enhanced Chemical VaporDeposition，简称PECVD)的卧式扩散炉和管式设备中，一般采用自动上下料装置对石英舟或石墨舟进行移载，现有的上下料装置在水平移载石英舟或石墨舟时，并不能稳定的进行移载，而自动上下料装置的稳定运行是设备长期稳定运行的必要条件。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种晶舟伸展装置及半导体加工设备，该晶舟伸展装置能够水平运载晶舟，并具备良好的稳定性，且装配简单便捷，从而提高生产效率及生产稳定性。

为实现本发明的目的而提供一种晶舟伸展装置，包括逐级连接的多个直线驱动装置和设置在各个所述直线驱动装置上的连接滑块；

每级直线驱动装置用于驱动位于该级别以下的所有直线驱动装置整体沿水平方向移动；最下级的所述直线驱动装置用于与所述晶舟连接；

所述直线驱动装置与所述连接滑块成套设置。

优选的，每级所述直线驱动装置包括壳体、直线传动件和驱动模块，其中，所述直线传动件和所述驱动模块均设置在所述壳体中，且相邻级别的直线驱动装置之间通过所述连接滑块相连接。

优选的，所述壳体上设置有贯穿其厚度，且沿所述壳体的长度方向延伸的通道；

所述连接滑块的上端部连接该连接滑块所在的所述直线驱动装置，所述连接滑块的下端部连接与所述直线驱动装置位置相邻、且处于下一个级别的直线驱动装置；

当所述驱动模块驱动所述该连接滑块时，所述连接滑块沿所述通道滑动，以带动位于该级别以下的所有直线驱动装置整体沿水平方向移动。

优选的，在所述通道中填充有防尘条，所述连接滑块穿过所述防尘条分别与该连接滑块所在的所述直线驱动装置和与所述直线驱动装置位置相邻、且处于下一个级别的直线驱动装置连接。

优选的，所述晶舟伸展装置还包括用于夹持晶舟的夹持组件，所述夹持组件与最下级的所述直线驱动装置中的所述连接滑块连接。

优选的，所述驱动模块包括旋转电机；

所述旋转电机的输出轴与所述直线传动件连接，用于向所述直线传动件提供旋转驱动力，所述直线传动件和相邻的下一级的所述直线驱动装置的所述壳体通过所述连接滑块连接，并能够将所述旋转驱动力转变为直线驱动力。

优选的，所述直线传动件包括丝杠，所述旋转电机与所述丝杠中的螺杆连接，且所述螺杆的轴线与水平方向平行，所述丝杠的螺母与所述螺杆螺纹配合，并且所述螺母和相邻的下一级的所述直线驱动装置的所述壳体通过所述连接滑块连接。

优选的，所述直线传动件包括导轨、同步带和多个同步带轮，其中，所述同步带环绕在多个所述同步带轮周围，所述旋转电机至少与多个所述同步带轮中的一个连接；在所述导轨上设置有直线导槽，所述直线导槽的延伸方向与水平方向平行；