[发明专利]湿度感测器及其制造方法

说明书

本发明提供一种湿度感测器及其制造方法。湿度感测器包含一基板、一电极层、一半导体层及一湿度感测层。电极层设置于基板上。半导体层位于电极层上。湿度感测层位于半导体层上，其中湿度感测层系由式(I)结构所组成：其中R为C1～C20的直链或支链烷基，X为一单股脱氧核醣核酸。本发明的湿度感测器具有更高的灵敏度，所能量测的阻抗值变化可达到4个数量级以上。

技术领域

本发明系关于一种湿度感测器及其制造方法。

背景技术

在移动通话装置的贴合或点胶的制程中，制程车间的环境湿度影响对产品良率的影响相当大。因此若能够在上述制程中随时监控车间的环境湿度，制程人员就能据以调整环境湿度，以使得制程顺利进行。然而传统湿度感测器所能量测的阻抗值变化通常仅为2至3个数量级，并不足以提供上述需求。因此目前需要一种灵敏度更高的湿度感测器。

发明内容

本发明的一态样系提供一种湿度感测器。湿度感测器包含一基板、一电极层、一半导体层及一湿度感测层。电极层设置于基板上。半导体层位于电极层上。湿度感测层位于半导体层上，其中湿度感测层系由式(I)结构所组成：

其中R为C1～C20的直链或支链烷基，X为一单股脱氧核醣核酸。

在一或多个实施方式中，单股脱氧核醣核酸包含腺嘌呤、胸腺嘧啶、鸟嘌呤、胞嘧啶及其一组合。

在一或多个实施方式中，半导体层包含二氧化锡。

在一或多个实施方式中，电极层具有一指叉式结构。

本发明的另一态样系提供一种制造湿度感测器的方法。方法包含以下步骤：提供一基板及一电极层，其中电极层位于基板上；形成一半导体层于电极层上；以及形成一湿度感测层于半导体层上，湿度感测层系由式(I)结构所组成：

其中R为C1～C20的直链或支链烷基，X为一单股脱氧核醣核酸。

在一或多个实施方式中，其中形成半导体层于电极层上的步骤包含沉积一电浆于电极层上，其中电浆为四甲基锡及氧气的一混合物。

在一或多个实施方式中，形成湿度感测层于电极层上的步骤包含以下子步骤：形成一胺基结构于半导体层上；连接一直链或支链烷基醛结构至胺基结构上；以及连接一单股脱氧核醣核酸于直链或支链烷基醛结构上。

在一或多个实施方式中，形成胺基结构于半导体层上的子步骤包含一光聚合反应。

在一或多个实施方式中，在执行光聚合反应后，形成胺基结构于半导体层上的子步骤更包含将半导体层浸渍于一聚乙烯亚胺溶液中。

在一或多个实施方式中，单股脱氧核醣核酸包含腺嘌呤、胸腺嘧啶、鸟嘌呤、胞嘧啶及其一组合。

附图说明

为让本发明之上述和其他目的、特征、优点与实施例能更明显易懂，所附图式之详细说明如下：

图1系根据本发明一实施方式之湿度感测器的制造方法的流程图。

图2至图4系根据本发明一实施方式之湿度感测器的制造方法中各阶段的侧视示意图。

附图标记：

10 方法 S01～S03 步骤

20 湿度感测器 100 基板

200 电极层 300 半导体层

400 湿度感测层

具体实施方式