[发明专利]薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板、显示面板及装置

说明书

本发明涉及显示技术领域，公开一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板、显示面板及装置。其中，薄膜晶体管包括衬底基板和依次层叠在衬底基板上的有源层和源漏电极；源漏电极中的源电极在衬底基板上的投影与有源层的部分边缘在衬底基板上的投影重叠。上述薄膜晶体管中，有源层接收光照的面积较小，可有效降低空穴的产生，减小光照条件下光生载流子的浓度，进而，可以避免在高温光照环境下工作的TFT出现空穴俘获几率增加、阈值电压下降等缺陷态，改善TFT器件在高温光照环境下的性能。当上述薄膜晶体管应用于显示面板中时，可以提高显示产品在高温环境下的工作性能，增强显示产品的可靠性。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板、显示面板及装置。

背景技术

近年来，随着显示面板产能的扩大，消费市场又增长缓慢，因此寻找新的快速增长的应用领域成为各大厂商的迫切需求。而随着汽车市场的快速发展及车联网时代的来临，车载显示领域显然已成为继手机、平板市场之后的第三大中小尺寸面板应用市场。

考虑到工作环境，车载显示器必须能够承受－30℃～+85℃的高低温差；而长期高温环境下工作会增加TFT的空穴俘获几率，使器件阈值电压(Vth)下降，这就会导致数据线(Data)线流向像素电极的漏电流增大，出现纵向串扰。

发明内容

本发明公开了一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板、显示面板及装置，目的是改善高温工作环境下薄膜晶体管的工作性能。

为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：

一种薄膜晶体管，包括衬底基板和依次层叠在所述衬底基板上的有源层和源漏电极；所述源漏电极中的源电极在衬底基板上的投影与所述有源层的部分边缘在衬底基板上的投影重叠。

上述薄膜晶体管，其源漏金属层中源电极的正投影与有源层的部分边缘的正投影重叠，即源电极的正投影覆盖了有源层的部分边缘的正投影，使得有源层接收光照的面积减小了，从而可有效降低空穴的产生，减小光照条件下光生载流子的浓度，进而，可以避免在高温光照环境下工作的TFT出现空穴俘获几率增加、阈值电压下降等缺陷态，改善TFT器件在高温光照环境下的性能。当上述薄膜晶体管应用于显示面板中时，可以提高显示产品在高温环境下的工作性能，增强显示产品的可靠性。

可选的，所述源电极包覆所述有源层的部分边缘。

可选的，所述源电极呈U形，所述有源层呈方形；

所述有源层的部分边缘包括三个边缘；所述源电极包覆所述有源层的所述三个边缘。

可选的，所述源电极的两个端面在衬底基板上的投影与所述有源层中除了所述三个边缘外的第四个边缘在衬底基板上的投影部分重合。

可选的，所述源电极呈L形，所述有源层呈方形；

所述有源层的部分边缘包括两个边缘；所述源电极包覆所述有源层的所述两个边缘。

可选的，所述源漏电极中的漏电极呈条状，且一端插设在所述源电极所包围的区域内。

可选的，所述有源层包括依次层叠的半导体层和欧姆接触层，所述欧姆接触层的图案与所述源漏电极的图案为相似图案；

所述源漏电极的源电极和漏电极之间具有沟道区域；所述欧姆接触层朝向所述沟道区域一侧的边缘在衬底基板上的投影与所述源漏电极朝向所述沟道区域一侧的边缘在衬底基板上的投影至少部分重合。

一种阵列基板，包括上述任一项所述的薄膜晶体管。

一种显示面板，包括上述的阵列基板。

一种显示装置，包括上述的显示面板。

可选的，所述显示装置为车载显示装置。