[发明专利]一种绕线式电弧靶装置在审
| 申请号： | 201910779632.5 | 申请日： | 2019-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN110408902A | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 朱世元;闫乃明 | 申请（专利权）人： | 深圳市金耀玻璃机械有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 重庆百润洪知识产权代理有限公司 50219 | 代理人： | 程宇 |
| 地址： | 518103 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 靶材 装置本体 密封端盖 磁钢组件 连接件 水冷 外周 电弧靶 绕线式 磁钢 镀膜 端头 内周 压紧连接件 动力组件 镀膜生产 经济利益 密封空间 密封设置 生产效率 线圈缠绕 筒状 沉积 粒子 穿过 | ||
【权利要求书】：
1.一种绕线式电弧靶装置，其特征在于，包括装置本体(1)、密封端盖(2)和水冷端头(3)；
密封端盖(2)设置在装置本体(1)的两端；装置本体(1)的一端穿过密封端盖(2)与水冷端头(3)连接，且水冷端头(3)上设置动力组件(4)；
装置本体(1)整体呈圆柱形；装置本体(1)包括靶材层(11)和磁钢组件(12)；靶材层(11)设置在磁钢组件(12)的外周；靶材层(11)两端与密封端盖(2)密封设置，以在靶材层(11)内部形成密封空间；
磁钢组件(12)包括连接件(15)、磁钢(14)和线圈(13)；连接件(15)呈筒状，连接件(15)设置在靶材层(11)的内周；
线圈(13)缠绕在磁钢(14)的外周，线圈(13)的外周压紧连接件(15)的内周。
2.根据权利要求1所述的绕线式电弧靶装置，其特征在于，装置本体(1)的靶材层(11)为阴极；装置本体(1)位于真空环境内；真空环境内填充经过低压引弧系统电离后的氩气。
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