[发明专利]连续均匀镀膜的调节方法

权利要求书

1.一种连续均匀镀膜的调节方法，其特征在于包括以下步骤：

1）通过光度计、椭偏仪或台阶仪测试当前玻璃上各位置的膜层厚度，进而掌握膜厚变化规律；

2）在旋转阴极（1）的A管（101）与CM3腔室边缘处，加装光电感应器（2）；光电感应器（2）与控制器电连接，控制器与旋转阴极（1）电连接；

3）当镀膜框架KJ1到达光电感应器（2）的位置时，计时器计时“0”秒，根据掌握的膜厚变化规律，降低或升高A管（101）的转速r；降低转速r会降低溅射率s，从而降低镀膜厚度，升高转速r会增加溅射率s，从而增加镀膜厚度；

4）镀膜框架KJ1继续行驶T₁秒后，恢复A管（101）至正常转速r；再经过T₂秒后，计时器计时恢复至“0”秒状态；

5）当镀膜框架KJ2到达光电感应器（2）的位置时，根据镀膜框架KJ2行进方向膜厚变化规律，降低或升高A管（101）的转速r；

6）镀膜框架KJ2继续行驶T₁秒后，恢复A管（101）至正常转速r；再经过T₂秒后，计时器计时恢复至“0”秒状态；

7）重复步骤5）和步骤6），依次完成镀膜框架KJ3至镀膜框架KJN的镀膜。

2.根据权利要求1所述的连续均匀镀膜的调节方法，其特征在于：T₁为每个镀膜框架KJ镀膜周期时间。

3.根据权利要求2所述的连续均匀镀膜的调节方法，其特征在于：T₂为镀膜框架KJN与下一个镀膜框架KJN+1间隔镀膜时间。

4.根据权利要求3所述的连续均匀镀膜的调节方法，其特征在于：当镀膜框架KJ1达到光电感应器（2）处时，光电信号gd=1；当镀膜框架KJ1完全离开光电感应器（2）时，光电信号gd=0；镀膜框架KJ2达到光电感应器（2）处时，光电信号gd=1；当镀膜框架KJ2完全离开光电感应器（2）时，光电信号gd=0；当镀膜框架KJN到达光电感应器（2）处时，光电信号gd=1。

5.根据权利要求1所述的连续均匀镀膜的调节方法，其特征在于：控制器为PLC。

6.根据权利要求1所述的连续均匀镀膜的调节方法，其特征在于：在步骤3）中，根据转速r、厚度d和溅射率s三个参数的变化规律，总结转速r、厚度d和溅射率s两两之间的函数表达式，推算步骤如下：由于溅射率s等于膜厚d除以功率P，即s=d/P，其中P表示带动镀膜框架KJ移动的驱动装置的功率；

当功率P一定的情况下，膜厚d越大，代表溅射率s越大；整个镀膜过程中保持P为定值，然后取多组膜厚d、溅射率s和转速r三者之间相对应的数据；

以转速r为横坐标，膜厚d为纵坐标，绘制转速r和膜厚d之间的曲线图；然后通过曲线图总结函数关系表达式为d(r)=a1+c1/(r-b1)；根据该表达式，取三组试验数据，对a1、b1、c1的数字求解；

以转速r为横坐标，溅射率s为纵坐标，绘制转速r和溅射率s之间的曲线图；然后通过曲线图总结函数关系表达式为s(r)=a2+c2/(r-b2)；根据该表达式，取三组试验数据，对a2、b2、c2的数字求解；

在生产过程中，溅射率s或膜厚d是需求的目标，而转速r需要求解；以转速r为横坐标，以膜厚d为纵坐标，绘制膜厚d和转速r之间的曲线图；总结转速r与膜厚d的关系函数为：r(d)=a3+c3/(d-b3)；取三组试验数据，对a3、b3、c3的数字求解；这样想要控制膜厚d大小，就可以相应的控制转速r大小来得到。