[发明专利]振动感测装置感测振动的方法以及振动感测装置

权利要求书

1.一种振动感测装置感测振动的方法，其特征在于：所述振动感测装置包括：

壳体，在所述壳体的内部形成腔体；

压力产生装置，所述压力产生装置包括弹性元件和质量元件，所述弹性元件设置在所述腔体内；所述质量元件通过所述弹性元件悬置在所述腔体内，并能随所述弹性元件一起在所述腔体内移动，所述质量元件和所述弹性元件将所述腔体分隔为密闭的第一腔室和第二腔室；以及

压力感测装置，所述压力感测装置分别与所述第一腔室和所述第二腔室连通；

所述方法包括：通过所述压力感测装置获取所述第一腔室和所述第二腔室之间的压强差；以及

通过所述压强差计算所述压力感测装置所在位置的振动状态。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述质量元件包括所述压力感测装置，所述压力感测装置与所述弹性元件连接。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于：所述弹性元件包括位于中部的连接部、围绕连接部设置的弹性部和围绕弹性部设置的边缘部，所述边缘部与所述壳体连接，所述连接部与所述质量元件连接。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于：所述质量元件还包括基板，所述压力感测装置被固定在所述基板上，所述基板与所述连接部连接，在所述基板上设置有通孔，所述压力感测装置的感测部的一侧暴露于第一腔室，所述感测部的另一侧通过所述通孔与所述第二腔室连通；或者

所述压力感测装置的感测部的一侧暴露于第二腔室，所述感测部的另一侧通过所述通孔与所述第一腔室连通。

5.根据权利要求2所述的方法，其特征在于：所述弹性元件包括支撑结构和与所述支撑结构连接的弹性膜片，所述支撑结构的一端与所述质量元件连接，另一端与所述壳体的内壁连接，所述弹性膜片围绕所述质量元件设置。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于：所述压力感测装置通过设置在所述支撑结构上的导体与外部电路连接。

7.一种振动感测装置，其特征在于：包括：

壳体，在所述壳体的内部形成腔体；

压力产生装置，所述压力产生装置包括弹性元件和质量元件，所述弹性元件设置在所述腔体内；所述质量元件通过所述弹性元件悬置在所述腔体内，并能随所述弹性元件一起在所述腔体内移动，所述质量元件和所述弹性元件将所述腔体分隔为密闭的第一腔室和第二腔室；以及

压力感测装置，所述压力感测装置分别与所述第一腔室和所述第二腔室连通，所述压力感测装置被配置为用于感测所述第一腔室和所述第二腔室之间的压强差。

8.根据权利要求7所述的振动感测装置，其特征在于：所述质量元件包括所述压力感测装置，所述压力感测装置与所述弹性元件连接。

9.根据权利要求8所述的振动感测装置，其特征在于：所述弹性元件包括位于中部的连接部，围绕连接部设置的弹性部和围绕弹性部设置的边缘部，所述边缘部与所述壳体连接，所述连接部与所述质量元件连接。

10.根据权利要求8所述的振动感测装置，其特征在于：所述质量元件还包括基板，所述压力感测装置被固定在所述基板上，所述基板与所述连接部连接，在所述基板上设置有通孔，所述压力感测装置的感测部的一侧暴露于第一腔室，所述感测部的另一侧通过所述通孔与所述第二腔室连通；或者

所述压力感测装置的感测部的一侧暴露于第二腔室，所述感测部的另一侧通过所述通孔与所述第一腔室连通。

11.根据权利要求8所述的振动感测装置，其特征在于：所述弹性元件包括支撑结构和与所述支撑结构连接的弹性膜片，所述支撑结构的一端与所述质量元件连接，另一端与所述壳体的内壁连接，所述弹性膜片围绕所述质量元件设置。

12.根据权利要求11所述的振动感测装置，其特征在于：所述压力感测装置通过设置在所述支撑结构上的导体与外部电路连接。