[发明专利]用于生成声信号的静电扬声器和方法有效

申请号：	201910780788.5	申请日：	2019-08-22
公开（公告）号：	CN110858945B	公开（公告）日：	2022-11-29
发明（设计）人：	海姆·库珀尔施米特;加布里埃尔·赛登;伊戈尔·索科洛夫	申请（专利权）人：	DSP集团有限公司
主分类号：	H04R19/02	分类号：	H04R19/02
代理公司：	中国专利代理(香港)有限公司 72001	代理人：	董婕;陈岚
地址：	以色列赫***	国省代码：	暂无信息
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摘要：
搜索关键词：	用于生成信号静电扬声器方法
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【权利要求书】：

1.一种微机电系统MEMS静电扬声器，其包括单元的阵列，其中每个单元包括上定子、膜、下定子和被配置成支撑所述上定子、所述膜和所述下定子的支撑元件；其中每个单元的所述上定子和所述下定子之间的距离具有微观尺度，其中所述MEMS静电扬声器包括：上定子触点、下定子触点以及膜触点，所述上定子触点电耦合到所述阵列的多个单元的上定子，所述下定子触点电耦合到所述阵列的多个单元的下定子，所述膜触点电耦合到所述阵列的多个单元的膜。

2.根据权利要求1所述的MEMS静电扬声器，其中，所述上定子的区域的一部分被穿孔。

3.根据权利要求2所述的MEMS静电扬声器，其中，所述一部分沿着所述上定子的区域的一部分跨越。

4.根据权利要求2所述的MEMS静电扬声器，其中，所述一部分沿着所述上定子的区域的至少百分之九十跨越。

5.根据权利要求2所述的MEMS静电扬声器，其中，所述一部分被穿孔，其中孔具有微观范围。

6.根据权利要求2所述的MEMS静电扬声器，在(a)孔的总尺寸与(b)所述上定子的面积之间的比率范围在0.2-0.8之间。

7.根据权利要求1所述的MEMS静电扬声器，其中，对于每个单元，所述单元的所述支撑元件中的至少一些与所述膜电气隔离。

8.根据权利要求1所述的MEMS静电扬声器，其中，对于每个单元，在所述膜的平面处，所述单元的所述支撑元件中的至少一些被空气间隙包围。

9.根据权利要求1所述的MEMS静电扬声器，其中，对于每个单元，在所述膜的平面处，所述单元的所述支撑元件中的至少一些被空气间隙和非导电材料中的至少一种部分地包围。

10.根据权利要求1所述的MEMS静电扬声器，其中，对于每个单元，所述支撑元件包括侧壁，其中所述侧壁与所述膜隔离。

11.根据权利要求1所述的MEMS静电扬声器，其中，对于每个单元，所述支撑元件包括通过支柱彼此连接的侧壁，其中在所述下定子的平面处，穿孔形成在所述支柱下方。

12.根据权利要求1所述的MEMS静电扬声器，其中，对于每个单元，所述支撑元件包括通过支柱彼此连接的侧壁，其中在所述下定子和所述支柱之间仅存在部分重叠。

13.根据权利要求1所述的MEMS静电扬声器，其中，对于每个单元，所述支撑元件包括通过支柱彼此连接的侧壁，其中在所述上定子的平面处，穿孔形成在所述支柱上方。