[发明专利]用于生成声信号的静电扬声器和方法

说明书

本申请公开了用于生成声信号的静电扬声器和方法。一种微机电系统(MEMS)静电扬声器，其包括单元的阵列，其中每个单元包括上定子、膜、下定子和被配置成支撑上定子、膜和下定子的支撑元件；其中每个单元的上定子和下定子之间的距离具有微观尺度。

交叉引用

本申请要求2018年8月22日提交的美国临时专利62/721，126和2019年4月29日提交的美国临时专利62/839，778的优先权。

背景

静电扬声器显示出比传统锥形驱动器低两个数量级的失真，在振幅和相位上都显示出非常好的频率响应，可以使用在其整个表面上驱动的光阑(light diaphragm)，并且比其他扬声器具有更高的效率。

另一方面，静电扬声器既大又贵。

越来越需要提供一种紧凑且有成本效益的静电扬声器。

概述

可以提供一种高效、紧凑且高性能的静电扬声器。

附图说明

关于本发明的主题在说明书的结束部分被特别指出并被清楚地要求保护。然而，本发明关于操作的组织和方法以及其目的、特征和优点，在参照附图一起阅读时，通过参考以下详细描述可得到最好的理解，其中：

图1示出了单元横截面的示例；

图2示出了单元的示例；

图3示出了单元元件的示例；

图4示出了单元元件的示例；

图5示出了单元、下定子触点以及膜和上定子支撑结构的一部分的示例；

图6示出了单元、膜触点以及上定子支撑结构的一部分的示例；

图7示出了单元和上定子触点的示例；

图8示出了下定子、膜和上定子触点以及下定子、膜和上定子支撑结构的示例；

图9示出了部分的单元(膜)和支撑结构；

图10示出了单元的一部分的横截面；

图11示出了部分的单元和支撑结构；

图12示出了MEMS静电扬声器的示例；以及

图13示出了方法的示例。

具体实施方式

在以下详细描述中，阐述了许多具体细节以便提供对本发明的透彻理解。然而，本领域技术人员将理解，可以在没有这些具体细节的情况下实践本发明。在其他情况下，没有详细描述公知的方法、过程和部件，以免模糊本发明。

关于本发明的主题在说明书的结束部分被特别指出并被清楚地要求保护。然而，当与附图一起阅读时，通过参考以下详细描述，可最好地理解本发明的关于操作的方法和组织以及其目的、特征和优点。

将认识到，为了说明的简单和清楚，图中所示的元素不一定按比例绘制。例如，为了清楚起见，一些元素的尺寸可以相对于其他元素被放大。此外，在认为适当的情况下，参考数字可在多个图中重复以指示对应的或类似的元素。

说明书中对系统的任何提及应当加以必要的变动而应用于可由该系统执行的方法。

因为本发明的所示实施例在很大程度上可以使用本领域技术人员已知的微机电系统(MEMS)部件和电路来实现，所以细节将不会在比如上所述的必须考虑的那些在更大程度上进行解释，以便理解和领悟本发明的基本概念，并且以便不混淆或分散本发明的教导。

说明书中对方法的任何提及应当加以必要的变动而应用于能够执行该方法的系统。