[发明专利]用于探针卡制造、检测及维修的设备及其使用方法

权利要求书

1.一种用于探针卡制造、检测及维修的设备，其特征在于，包括：

工作台，其上开设有检修窗口；

支设于所述工作台下方调节机构，所述调节机构可相对于所述工作台沿X、Y及Z方向进行移动调节；

置于所述调节机构上、供固定探针卡的安装座；

固设于所述工作台底面的打磨垫，所述打磨垫与所述检修窗口错开设置；以及

驱动连接所述调节机构的驱动机构，通过所述驱动机构驱动所述调节机构相对于所述工作台沿X、Y及Z方向进行移动调节，进而带动所述安装座上的探针卡移动至打磨垫的位置进行磨针作业，而后通过所述调节机构的移动调节带动所述探针卡移动至所述检修窗口进行探针位置的检测及调整。

2.如权利要求1所述的用于探针卡制造、检测及维修的设备，其特征在于，还包括与所述驱动机构控制连接的控制系统，所述控制系统根据输入的移动参数控制所述驱动机构运行以驱动所述调节机构带着所述探针卡至对应的位置。

3.如权利要求1所述的用于探针卡制造、检测及维修的设备，其特征在于，还包括立设于所述工作台并靠近所述检修窗口设置的供安装显微镜的支撑架。

4.如权利要求1所述的用于探针卡制造、检测及维修的设备，其特征在于，还包括固设于所述工作台底面的供测量探针电阻的接触片，所述接触片靠近所述打磨垫设置。

5.如权利要求1所述的用于探针卡制造、检测及维修的设备，其特征在于，还包括固设于所述工作台的摄像机，所述摄像机的摄像头位于所述工作台的底面并朝下拍摄，通过所述摄像机对所述探针进行拍摄以形成图像信息，进而利用所述图像信息对所述探针进行测量分析。

6.如权利要求1所述的用于探针卡制造、检测及维修的设备，其特征在于，所述调节机构包括沿所述Y方向设置的第一滑轨、滑设于所述第一滑轨的第一承台、沿所述X方向设置并固设于所述第一承台的第二滑轨、滑设于所述第二滑轨的第二承台以及置于所述第二承台上并可沿所述Z方向升降的第三承台；

所述第三承台的顶部固定连接所述安装座。

7.一种如权利要求1所述的用于探针卡制造、检测及维修的设备的使用方法，其特征在于，包括如下步骤：

提供一探针卡，将所述探针卡固定于所述安装座上；

通过所述调节机构将所述探针卡移动至检修窗口；

利用显微镜通过所述检修窗口检查所述探针卡上的探针并调整探针的位置及确定探针的磨针参数；

通过所述调节机构将所述探针移动至所述打磨垫的位置，并依据所述探针的磨针参数控制所述调节机构的移动方式以使得所述探针与所述打磨垫相摩擦而使得对所述探针的端部进行磨针作业；

在磨针作业的过程中，间隔的将所述探针移动至所述检修窗口处进行检测及调整，对所述探针间隔的进行测量，在测量到所述探针达到磨针要求时即完成磨针作业。

8.如权利要求7所述的使用方法，其特征在于，对所述探针间隔的进行测量的步骤，包括：

间隔的将所述探针移动至一摄像机的位置处，利用所述摄像机对所述探针进行拍摄以形成图像信息；

利用所述图像信息对所述探针的尺寸、位置及间隔进行自动测量分析。

9.如权利要求7所述的使用方法，其特征在于，在完成磨针作业后还包括：

将所述探针移动至一接触片的位置处，利用所述调节机构移动所述探针与所述接触片相接触以测量所述探针的电阻。

10.如权利要求7所述的使用方法，其特征在于，在完成磨针作业后还包括：

将所述探针移动至所述检修窗口处进行检测及调整。