[发明专利]用于探针卡制造、检测及维修的设备及其使用方法

说明书

本发明涉及一种用于探针卡制造及检测的设备，包括：工作台，其上开设有检修窗口；支设于所述工作台下方调节机构，所述调节机构可相对于所述工作台沿X、Y及Z方向进行移动调节；置于所述调节机构上、供固定探针卡的安装座；固设于所述工作台底面的打磨垫，所述打磨垫与所述检修窗口错开设置；以及驱动连接所述调节机构的驱动机构，通过所述驱动机构驱动所述调节机构相对于所述工作台沿X、Y及Z方向进行移动调节，进而带动所述安装座上的探针卡移动并可进行磨针作业和探针位置的检测及调整。本发明结合探针卡磨针、测量、调整以及测量与分析各功能在一个设备上，减低了各设备费用，有效的简化整个探针卡制造和维修。

技术领域

本发明涉及机械设备技术领域，特指一种用于探针卡制造、检测及维修的设备及其使用方法。

背景技术

如IC市场一样，探针卡制造业有着庞大的市场，自从IC的发明后，数十年来，每一颗芯片在从晶圆上切割下来前，都需要使用探针卡进行测试。

探针卡由探针、固定环、PCB等组成，其中的探针是整个探针卡的核心。探针通常由导电性能良好的合金构成，所有的探针都固定安装在一个特别设计的PCB板上，探针的尖端面积非常小，通常直径仅有0.0075到0.025mm。

目前探针卡的制造及维修均需要专门的工厂及专业的人员来做，对于规模比较小的公司只能将有问题的探针卡送回供货商去维修。而对于国内一些大规模的工厂，由于地处较偏远的地区，基本上难以靠供货商的产品和低效率的维修支持，通常会购买整套的探针卡制造设备，并聘请专业的探针卡制造及维修人员。在探针卡制造及维修工艺中主要的步骤是磨针、测量、共面调整以及最后的测量与分析，磨针是对探针的尖端的直径和长度，这个工序过程需要在显微镜下调整探针以避免探针被过度打磨，也就是说磨针、测量以及共面调整这三个工艺是需要不断的重复进行的，而现有的探针卡设备的磨针、测量、调整以及最后的测量与分析采用不同的仪器，操作人员需要在将探针卡依次的固定在对应的仪器上以进行对应的操作，而由于探针在打磨时，需要不断的进行调整及测量，这样就需要不断地进行探针卡的安拆，非常费时间。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种用于探针卡制造、检测及维修的设备及其使用方法，解决现有的探针卡设备在制造及维修时需要在不同的仪器上安拆探针卡而费时间的问题。

实现上述目的的技术方案是：

本发明提供了一种用于探针卡制造、检测及维修的设备，包括：

工作台，其上开设有检修窗口；

支设于所述工作台下方调节机构，所述调节机构可相对于所述工作台沿X、Y及Z方向进行移动调节；

置于所述调节机构上、供固定探针卡的安装座；

固设于所述工作台底面的打磨垫，所述打磨垫与所述检修窗口错开设置；以及

驱动连接所述调节机构的驱动机构，通过所述驱动机构驱动所述调节机构相对于所述工作台沿X、Y及Z方向进行移动调节，进而带动所述安装座上的探针卡移动至打磨垫的位置进行磨针作业，而后通过所述调节机构的移动调节带动所述探针卡移动至所述检修窗口进行探针位置的检测及调整。

本发明的探针卡制造、检测及维修的设备，利用调节机构带动探针卡至打磨垫处进行磨针作业，带动探针卡至检修窗口进行位置调整及检测，避免了对探针卡不断地安拆操作，可极大的节省操作人员的操作时间。本发明的设备结合探针卡磨针、测量、调整以及测量与分析各功能在一个设备上，减低了各设备费用，有效的简化整个探针卡制造和维修。

本发明用于探针卡制造、检测及维修的设备的进一步改进在于，还包括与所述驱动机构控制连接的控制系统，所述控制系统根据输入的移动参数控制所述驱动机构运行以驱动所述调节机构带着所述探针卡至对应的位置。