[发明专利]防止污渍的光刻胶剥离剂组合物及平板显示器基板的制法

权利要求书

1.一种防止污渍的光刻胶剥离剂组合物，包含：

(a)由下面的化学式1所表示的二醇醚；

(b)碱性化合物；

(c)非质子性极性溶剂；以及

(d)抗腐蚀剂：

R-(OCH₂CH₂)n-OH (1)

其中，R是甲基或乙基，且n是2或3的整数，

其中所述二醇醚具有由下面的等式1计算出的负值的辛醇/水分配系数LogP：

Kow＝Co/Cw

Co：溶质在辛醇中的浓度

Cw：溶质在水中的浓度

LogP＝Log(Kow)。

2.根据权利要求1所述的光刻胶剥离剂组合物，还包含：(e)去离子水。

3.根据权利要求1所述的光刻胶剥离剂组合物，其中，基于所述组合物的总重量，所述组合物包含：

(a)5～50wt％的由上面的化学式1所表示的二醇醚；

(b)5～30wt％的碱性化合物；

(c)20～70wt％的非质子性极性溶剂；以及

(d)0.01～5wt％的抗腐蚀剂。

4.根据权利要求2所述的光刻胶剥离剂组合物，其中，基于所述组合物的总重量，去离子水的量为10～40wt％。

5.根据权利要求1所述的光刻胶剥离剂组合物，其中，所述二醇醚是选自由二乙二醇单甲醚、二乙二醇乙醚、三乙二醇单甲醚和三乙二醇单乙醚组成的组中的至少一种。

6.根据权利要求1所述的光刻胶剥离剂组合物，其中，所述碱性化合物是选自由氢氧化钾、氢氧化钠、四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、碳酸盐、磷酸盐、氨和胺组成的组中的至少一种。

7.根据权利要求1所述的光刻胶剥离剂组合物，其中，所述非质子性极性溶剂是选自由吡咯烷酮化合物、咪唑啉酮化合物、内酯化合物、亚砜化合物、磷酸酯化合物、碳酸酯化合物和酰胺化合物组成的组中的至少一种。

8.根据权利要求1所述的光刻胶剥离剂组合物，其中，所述抗腐蚀剂是由下面的化学式2所表示的苯并三唑衍生物：

其中，R2、R3和R4各自独立地是氢原子、卤原子、烷基、环烷基、烯丙基、芳基、氨基、烷氨基、硝基、氰基、巯基、烷巯基、羟基、羟烷基、羧基、羧烷基、酰基、烷氧基或具有杂环的单价基团。

9.一种制造平板显示器基板的方法，包括使用根据权利要求1～8中任何一项所述的光刻胶剥离剂组合物来清洁平板显示器基板的步骤。