[发明专利]MEMS哥氏振动陀螺仪与ASIC电路的参数匹配方法

说明书

本发明提供了一种MEMS哥氏振动陀螺仪与ASIC电路的参数匹配方法，该参数匹配方法包括：获取MEMS哥氏振动陀螺仪的表头机械参数；根据表头机械参数调整ASIC电路参数以完成对MEMS哥氏振动陀螺仪的模态配置；依次对MEMS哥氏振动陀螺仪的各项性能进行测试和判断，若任一性能不满足预设的性能指标，则返回调整ASIC电路参数以优化MEMS哥氏振动陀螺仪的模态配置直至各项性能均满足预设的性能指标以完成MEMS哥氏振动陀螺仪与ASIC电路的参数匹配。应用本发明的技术方案，能够快速、全面且有效的完成MEMS哥氏振动陀螺仪与ASIC电路的参数匹配，使得MEMS哥氏振动陀螺仪的性能指标符合性能要求。

技术领域

本发明涉及陀螺仪技术领域，尤其涉及一种MEMS哥氏振动陀螺仪与ASIC电路的参数匹配方法。

背景技术

微惯性系统的小型化和低功耗需求推动MEMS惯性器件与ASIC技术越来越广泛、越深入的结合，由此可以更好的发挥出MEMS惯性器件的小体积、低功耗和低成本等自身优势。目前，高精度MEMS哥氏振动陀螺仪配套的测控系统正逐步由PCB电路转向ASIC电路。在将ASIC电路与陀螺仪的表头系统集成时，如何结合陀螺仪表头结构的加工误差、真空封装特性和安装方案等进行ASIC测控电路的参数配置和匹配优化，是决定能否发挥出MEMS哥氏振动陀螺仪表头结构精度的潜力和实现陀螺仪预期性能指标的重要环节。而现有技术中，MEMS哥氏振动陀螺仪与ASIC电路的参数匹配过程简单无验证优化环节，这导致不能及时调整ASIC电路的参数，使得MEMS哥氏振动陀螺仪的性能指标不符合性能要求。

发明内容

本发明提供了一种MEMS哥氏振动陀螺仪与ASIC电路的参数匹配方法，能够解决现有技术中因MEMS哥氏振动陀螺仪与ASIC电路的参数匹配过程简单无验证优化导致的MEMS哥氏振动陀螺仪的性能指标不符合性能要求的技术问题。

根据本发明的一方面，提供了一种MEMS哥氏振动陀螺仪与ASIC电路的参数匹配方法，该参数匹配方法包括：获取MEMS哥氏振动陀螺仪的表头机械参数；根据表头机械参数调整ASIC电路参数以完成对MEMS哥氏振动陀螺仪的模态配置；依次对MEMS哥氏振动陀螺仪的各项性能进行测试和判断，若任一性能不满足预设的性能指标，则返回调整ASIC电路参数以优化MEMS哥氏振动陀螺仪的模态配置直至各项性能均满足预设的性能指标以完成MEMS哥氏振动陀螺仪与ASIC电路的参数匹配。

进一步地，根据表头机械参数调整ASIC电路参数以完成对MEMS哥氏振动陀螺仪的模态配置具体包括：根据表头机械参数调整ASIC电路参数以完成MEMS哥氏振动陀螺仪的驱动模态的配置；根据表头机械参数调整ASIC电路参数以完成MEMS哥氏振动陀螺仪的检测模态的配置。

进一步地，根据表头机械参数调整ASIC电路参数以完成MEMS哥氏振动陀螺仪的驱动模态的配置具体包括：根据表头机械参数调整ASIC电路的相位控制模块参数以使MEMS哥氏振动陀螺仪的驱动模态在MEMS哥氏振动陀螺仪的驱动固有谐振频率上实现谐振；调整ASIC电路的驱动幅值控制模块参数以使MEMS哥氏振动陀螺仪的驱动模态的振动幅度达到预期值。

进一步地，根据表头机械参数调整ASIC电路参数以完成MEMS哥氏振动陀螺仪的检测模态的配置具体包括：根据表头机械参数调整ASIC电路的检测通道参数以完成MEMS哥氏振动陀螺仪的检测模态的配置。