[发明专利]工艺数据分析方法及装置、存储介质及计算机设备

权利要求书

1.一种工艺数据分析方法，其特征在于，包括如下步骤：

采集来自于多个工艺流程的工艺数据，并将相同类型的工艺数据导入同一数据源；

形成与多个所述数据源分别对应的数据存储表，多个所述数据源与多种不同类型的工艺数据一一对应；

整合多张所述数据存储表，形成汇总表；所述汇总表中包括多个工艺流程、与每一所述工艺流程对应的多个数据源、以及针对每一所述工艺流程的每一所述数据源的状态的标识；

在所述汇总表中对各工艺流程对应的各数据源的状态进行标注，当所述工艺流程中的所述数据源异常时，在所述汇总表中以第一标识标注所述工艺流程对应的数据源的状态；当所述工艺流程中的所述数据源正常时，在所述汇总表中以第二标识标注所述工艺流程对应的数据源的状态；

获取所述汇总表的映射关系表，所述映射关系表包括各数据源以及与各数据源对应的数据存储表；

当检测到对标注后的汇总表中的目标标识的点击操作时，根据所述映射关系表获取与所述目标标识所属的数据源对应的目标数据存储表，所述目标数据存储表中包含目标工艺数据；

根据所述目标工艺数据绘制分析图。

2.根据权利要求1所述的工艺数据分析方法，其特征在于，不同类型的所述工艺数据包括生产管理数据、质量管理数据、量测数据、异常产品数据、配方数据、工程分析数据、机台状态数据、产品测试数据中的多种。

3.根据权利要求1所述的工艺数据分析方法，其特征在于，所述第一标识与所述第二标识为不同颜色的图形标识。

4.根据权利要求1所述的工艺数据分析方法，其特征在于，当所述目标标识为第一标识且所述分析图包括工艺数据随工艺流程的推进的变化图时，还包括如下步骤：

于所述分析图中突显工艺数据异常点；

当检测到对所述工艺数据异常点的点击操作时，则对所述工艺数据异常点对应的各指标的实际参数与正常参数进行对比；

根据对比结果对所述工艺数据异常点的实际参数的状态进行标注。

5.根据权利要求4所述的工艺数据分析方法，其特征在于，根据对比结果对所述工艺数据异常点的实际参数的状态进行标注包括如下步骤：

当实际参数异常时，采用所述第一标识对实际参数进行标注；

当实际参数正常时，采用所述第二标识对实际参数进行标注；

所述方法还包括如下步骤：

当检测到对以第一标识标注的实际参数的点击操作时，则钻取并解析异常的所述实际参数对应的故障检测系统数据，所述故障检测系统数据包括异常参数数据和正常参数数据；

根据所述故障检测系统数据绘制曲线对比图，所述曲线对比图包括所述异常参数数据和正常参数数据在异常时间段内的变化图。

6.根据权利要求1所述的工艺数据分析方法，其特征在于，当所述分析图为机台状态图且所述目标工艺数据包括机台状态数据时，根据所述目标工艺数据绘制分析图包括如下步骤：

根据所述机台状态数据绘制目标工艺流程下与多个机台一一对应的多个子图，并对每一所述机台的状态进行标注，所述子图包括机台中的多个处理腔室以及每一所述处理腔室的状态；

当接收到针对目标处理腔室的状态查看指令时，则显示所述目标处理腔室的相关信息。