[发明专利]酸性蚀刻液在审
| 申请号： | 201910789066.6 | 申请日： | 2019-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN110438501A | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 李再强;黄文涛;梁民 | 申请（专利权）人： | 深圳市祺鑫天正环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 陈思凡 |
| 地址： | 518125 广东省深圳市宝安区福海*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 酸性蚀刻液 蚀刻 硝酸钾 碱金属盐类 氯化铜 氯化铵 蚀刻液 硝酸铵 硝酸 溶剂 溶铜 尿素 盐酸 保证 | ||
1.一种酸性蚀刻液，其特征在于，所述酸性蚀刻液包括：盐酸、氯化铵、氯化铜、碱金属盐类，以及硝酸铵、硝酸钾、硝酸以及尿素中的一种或其组合，其中溶剂为水。
2.如权利要求1所述的酸性蚀刻液，其特征在于，上述各组分质量百分比如下：
盐酸 4-6％
氯化铵 8-10％
氯化铜 18-20％
碱金属盐类 2-10％
硝酸铵、硝酸钾、硝酸以及尿素中的一种或其组合 1-3％。
3.如权利要求1-2所述的酸性蚀刻液，其特征在于，所述碱金属盐类为钾盐。
4.如权利要求3所述的酸性蚀刻液，其特征在于，所述钾盐为硝酸钾、氯化钾以及酒石酸钾中的一种或其组合。
5.如权利要求4所述的酸性蚀刻液，其特征在于，所述钾盐为氯化钾与硝酸钾的组合物，其中所述氯化钾与所述硝酸钾的质量百分比为3:1。
6.如权利要求1所述的酸性蚀刻液，其特征在于，所述硝酸铵、硝酸钾、硝酸以及尿素中的一种或其组合为硝酸与硝酸铵的组合物，其中所述硝酸与所述硝酸铵的质量百分比为1:3。
7.如权利要求1所述的酸性蚀刻液，其特征在于，所述酸性蚀刻液还包括氨基磺酸、磷酸氢二铵、磷酸二氢铵、碳酸氢铵中的一种或其组合。
8.如权利要求7所述的酸性蚀刻液，其特征在于，所述氨基磺酸、磷酸氢二铵、磷酸二氢铵、碳酸氢铵中的一种或其组合为磷酸二氢铵与氨基磺酸的组合物，其中所述磷酸二氢铵与所述氨基磺酸的质量百分比为4:1。
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