[发明专利]冷却盘体中水道的表面处理方法及冷却盘体的制造方法在审
申请号: | 201910789417.3 | 申请日: | 2019-08-26 |
公开(公告)号: | CN110405474A | 公开(公告)日: | 2019-11-05 |
发明(设计)人: | 姚力军;潘杰;王学泽;占卫君 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | B23P23/00 | 分类号: | B23P23/00;B23P23/04;C25D11/02;C23C22/00;C23C22/82 |
代理公司: | 北京超成律师事务所 11646 | 代理人: | 韩梦嘉 |
地址: | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 冷却盘 水道 钝化液 中水道 钝化 制造 冷却水道 水道表面 出液口 水冷盘 吹出 内壁 对准 流出 腐蚀 缓解 加工 进口 出口 | ||
1.一种冷却盘体中水道的表面处理方法,其特征在于,包括以下步骤:
将装有钝化液的容器的出液口对准冷却盘体(100)中的水道(110)的进口(111),在压力作用下将所述容器内的钝化液注入所述水道(110)中,直至所述水道(110)的出口(112)有钝化液流出;
保持钝化液在所述水道(110)中停留时间t1,以使所述水道(110)完全钝化;
采用压力元件将钝化液从水道(110)中吹出;
对钝化后的冷却盘体(100)进行干燥。
2.根据权利要求1所述的冷却盘体中水道的表面处理方法,其特征在于,所述容器选用喷壶,所述喷壶的喷嘴对准所述水道(110)的进口(111)。
3.根据权利要求1所述的冷却盘体中水道的表面处理方法,其特征在于,所述t1的取值范围为8~15min。
4.根据权利要求1所述的冷却盘体中水道的表面处理方法,其特征在于,所述压力元件选用气枪,所述气枪的枪口对准所述进口(111),将钝化液从所述水道(110)中吹出。
5.根据权利要求1所述的冷却盘体中水道的表面处理方法,其特征在于,钝化后的所述冷却盘体(100)放入真空干燥箱中的进行真空干燥步骤。
6.根据权利要求5所述的冷却盘体中水道的表面处理方法,其特征在于,所述真空干燥步骤的温度范围为90~100℃;
所述真空干燥步骤的时间范围为1.5~2h。
7.根据权利要求1-6任一项所述的冷却盘体中水道的表面处理方法,其特征在于,所述冷却盘体(100)上安装有辅助流道体(200),所述辅助流道体(200)上设有第一流道(210)和第二流道(220),所述第一流道(210)与所述进口(111)连通,所述第二流道(220)与所述出口(112)连通;
所述容器的出液口对准所述第一流道(210)远离所述冷却盘体(100)的流道口。
8.根据权利要求7所述的冷却盘体中水道的表面处理方法,其特征在于,所述第一流道(210)和所述第二流道(220)均与所述冷却盘体(100)垂直。
9.一种冷却盘体的制造方法,其特征在于,包括:对所述冷却盘体(100)的加工方法和权利要求1-8任一项所述的对所述冷却盘体(100)中水道的表面处理方法;
其中,对所述冷却盘体(100)的加工方法包括以下步骤:
将至少两块由合金材料制成的具有水道槽的板体进行机械加工,并焊接成为一体,形成具有所述水道(110)的所述冷却盘体(100);
对焊接好的所述冷却盘体(100)进行机械加工,并对所述冷却盘体(100)的表面进行抛光处理;
对所述冷却盘体(100)的表面分别进行IPA液和纯水超声波清洗;
对所述冷却盘体(100)的表面进行阳极氧化处理。
10.根据权利要求9所述的冷却盘体的制造方法,其特征在于,所述阳极氧化处理的时间范围为60~70min,电流范围为25~30A;
其中所形成的阳极氧化膜的厚度范围为45~50um。
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