[发明专利]冷却盘体中水道的表面处理方法及冷却盘体的制造方法

说明书

本发明提供了一种冷却盘体中水道的表面处理方法及冷却盘体的制造方法，涉及水道表面处理技术领域，以缓解了现有技术中存在的水冷盘中的冷却水道的内壁容易被腐蚀的技术问题。该表面处理方法包括以下步骤：使容器的出液口对准冷却盘体中的水道的进口，在压力作用下将容器内的钝化液注入水道中，直至水道的出口有钝化液流出；使水道完全钝化；将钝化液从水道中吹出；对钝化后的冷却盘体进行干燥。一种冷却盘体的制造方法包括对冷却盘体的加工方法和对冷却盘体中水道的表面处理方法。

技术领域

本发明涉及水道处理方法技术领域，尤其是涉及一种冷却盘体中水道的表面处理方法及冷却盘体的制造方法。

背景技术

半导体晶圆在制备过程中需要相应的冷却设备，如：水冷盘。一般地，制造该水冷盘的材料为Al，由于冷却水道内部所通的液体为含Cl-的循环水，冷却水道内壁长期与含Cl-的水接触，其表面会产生腐蚀，这将会引起冷却水道的堵塞，影响其冷却效果，因此对冷却水道的内壁进行表面强化很有必要。

对于内部设有冷却水道的水冷盘，由于冷却水道的结构比较复杂，阳极氧化槽中的酸液很难流入到冷却水道中，采用阳极氧化的方法无法对冷却水道的内壁进行防腐强化处理。

现有技术中，往往只对水冷盘外表面进行阳极氧化，冷却水道的内壁没有氧化膜，从而使水冷盘的使用寿命下降。

发明内容

本发明的第一目的在于提供一种冷却盘体中水道的表面处理方法，以缓解了现有技术中存在的水冷盘中的冷却水道的内壁容易被腐蚀的技术问题。

本发明提供的冷却盘体中水道的表面处理方法，包括以下步骤：

将装有钝化液的容器的出液口对准冷却盘体中的水道的进口，在压力作用下将所述容器内的钝化液注入所述水道中，直至所述水道的出口有钝化液流出；

保持钝化液在所述水道中停留时间t1，以使所述水道完全钝化；

采用压力元件将钝化液从水道中吹出；

对钝化后的冷却盘体进行干燥。

进一步的，所述容器选用喷壶，所述喷壶的喷嘴对准所述水道的进口。

进一步的，所述t₁的取值范围为8～15min。

进一步的，所述压力元件选用气枪，所述气枪的枪口对准所述进口，将钝化液从所述水道中吹出。

进一步的，钝化后的所述冷却盘体放入真空干燥箱中的进行真空干燥步骤。

进一步的，所述真空干燥步骤的温度范围为90～100℃；

所述真空干燥步骤的时间范围为1.5～2h。

进一步的，所述冷却盘体上安装有辅助流道体，所述辅助流道体上设有第一流道和第二流道，所述第一流道与所述进口连通，所述第二流道与所述出口连通。

所述容器的出液口对准所述第一流道远离所述冷却盘体的流道口。

进一步的，所述第一流道和所述第二流道均与所述冷却盘体垂直。

有益效果：

本发明提供的冷却盘体中水道的表面处理方法，在压力的作用下，能够将容器内的钝化液注入冷却盘体的水道中，使水道的内壁与钝化液相接触，在钝化液与水道的内壁接触的过程中，在一定的时间内，能够使水道完全钝化，在此过程中，通过出口有钝化液流出，能够保证水道的内壁完全被钝化；水道钝化完成后，通过压力元件能够将钝化液从水道中吹出，确保水道内壁无残留的钝化液，最后对钝化后的冷却盘体进行干燥，从而使水道内壁形成致密的钝化膜，该钝化膜能够提高水道的抗腐性能，进而能够保证冷却盘体的冷却效果以及使用寿命。