[发明专利]一种仿生柔性压力传感器在审
申请号: | 201910793835.X | 申请日: | 2019-08-27 |
公开(公告)号: | CN110487451A | 公开(公告)日: | 2019-11-22 |
发明(设计)人: | 董瑛;韩留洋;王晓浩;张旻;钱翔 | 申请(专利权)人: | 清华大学深圳研究生院 |
主分类号: | G01L1/14 | 分类号: | G01L1/14;A61B5/00 |
代理公司: | 44205 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 洪铭福<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 518000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 极板 传感器模块 待测对象 贴片模块 柔性压力传感器 仿生结构 测量 压力传感器 电介质层 基底贴 可测量 变小 基底 受力 | ||
本发明公开了一种仿生柔性压力传感器,其包括仿生贴片模块和传感器模块,仿生贴片模块包括基底和仿生结构组,仿生结构组可与待测对象实现可靠的、大面积的接触,传感器模块包括第一极板、第二极板和电介质层设置于第一极板和第二极板之间,基底贴覆于传感器模块的第一极板或第二极板使得仿生贴片模块与传感器模块固定连接;测量时,传感器模块受力使得第一极板和第二极板的距离变小,根据距离的变化可测量得待测对象的信息,解决了现有技术中由于压力传感器在使用过程中无法与待测对象实现较好接触和固定,进而使得测量的数据同样出现较大的偏差的技术问题,提供了一种测量精度更高的、与待测对象接触更加稳定的仿生柔性压力传感器。
技术领域
本发明涉及传感器技术领域,尤其是涉及一种仿生柔性压力传感器。
背景技术
PEN:聚萘二甲酸乙二醇酯;
PDMS:聚二甲基硅氧烷;
Ecoflex:有机铂金硅橡胶;美国Smooth-On公司制作的有机铂金硅橡胶。
随着科学技术的不断发展,使得各个领域中的监测、检测技术同样得到了广泛的应用。压力传感器作为重要的监测、检测器件,其在医疗设备领域中起到至关重要的作用,压力传感器测量的准确性和使用过程中的稳定性决定着监测或检测的结果。
然而,由于压力传感器在使用过程中由于其结构的因素导致与待测对象的接触无法实现较好接触和固定,进而使得测量的数据同样出现较大的偏差的问题。
发明内容
本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此,本发明的一个目的是提供一种测量精度更高的、与待测对象接触更加稳定的仿生柔性压力传感器。
本发明所采用的技术方案是:
第一方面,本发明提供一种仿生柔性压力传感器,其特征在于,包括:
仿生贴片模块,所述仿生贴片模块包括基底和仿生结构组,所述仿生结构组设置于所述基底的一面;
传感器模块,所述传感器模块包括第一极板、第二极板和电介质层,所述电介质层设置于所述第一极板和所述第二极板之间;
所述基底的另一面与所述第一极板或所述第二极板固定连接,使得所述仿生贴片模块与所述传感器模块固定连接。
进一步地,所述仿生结构组包括多个末端膨大微柱;多个所述末端膨大微柱成阵列结构设置于所述基底的一面。
进一步地,所述末端膨大微柱包括竖直微柱和膨大末端,所述竖直微柱的底部与所述基底的一面固定连接,所述膨大末端设置于所述竖直微柱的顶部。
进一步地,所述基底为PEN材料,所述竖直微柱和所述膨大末端均为PDMS材料。
进一步地,所述电介质层包括多个电介质块,所述电介质块呈金字塔结构,与所述基底固定连接的所述第一极板或所述第二极板与所述金字塔结构的顶部固定连接,对应的,所述金字塔结构的底部固定于另一所述第二极板或所述第一极板上。
进一步地,所述电介质层为Ecoflex材料。
本发明的有益效果是:
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