[发明专利]一种光学邻近效应修正方法

权利要求书

1.一种光学邻近效应修正方法，其特征在于，包括：

筛选步骤，筛选出第一类型边缘线，其中，所述第一类型边缘线为具有三个片段的边缘线，所述三个片段包括依次连接的第一片段、第二片段和第三片段，所述第一片段和所述第三片段的两端点的拐角类型均同为外角和平角的组合或者同为内角和平角的组合，所述第二片段的两端点的拐角类型同为平角；

量测步骤，获得每个片段上若干参考位置点的边缘放置误差样本值；

计算步骤，以预先设定的边缘放置误差的取值方式，计算所述第一类型边缘线的所述三个片段的边缘放置误差，其中，取值方式是指，根据所述片段端点的拐角类型，从多个边缘放置误差样本值中选取作为边缘放置误差的统计值的选取方式；

修正步骤，根据所述计算步骤中确定的所述边缘放置误差，对所述第一类型边缘线进行修正；

其中，所述第一片段和所述第三片段的边缘放置误差的取值方式根据该片段的两端点的拐角类型确定，所述第二片段的边缘放置误差的取值方式与所述第一片段、所述第三片段保持相同。

2.如权利要求1所述的光学邻近效应修正方法，其特征在于，在所述修正步骤之后还包括

检测步骤，检测当前经修正的图像与目标图像的更新的边缘放置误差。

3.如权利要求2所述的光学邻近效应修正方法，其特征在于，在所述检测步骤之后，还包括：

将所述更新的边缘放置误差与预设范围进行比较，若所述更新的边缘放置误差的绝对值小于预设的阈值，则结束修正过程；若所述更新的边缘放置误差的绝对值超过阈值，则转至所述修正步骤。

4.如权利要求1-3所述的光学邻近效应修正方法，其特征在于，所述计算步骤中，所述预先设定的边缘放置误差的取值方式包括：

若所述第一片段和所述第三片段的两端点的拐角类型均同为外角和平角的组合，则返回所述第二片段的多个所述边缘放置误差样本值中的最大值作为所述第二片段的边缘放置误差；

若所述第一片段和所述第三片段的两端点的拐角类型均同为内角和平角的组合，则返回所述第二片段的多个所述边缘放置误差样本值中的最小值作为所述第二片段的边缘放置误差。

5.如权利要求1所述的光学邻近效应修正方法，其特征在于，在所述计算步骤中，针对除第一类型边缘线以外的第二类型边缘线的取值方式为：

以两个拐角类型为内角为端点或以拐角类型为内角和平角为端点的片段，边缘放置误差的统计值为边缘放置误差样本值中的最小值；

以拐角类型为内角和外角为端点或以拐角类型为两个平角为端点的片段，边缘放置误差的统计值为边缘放置误差样本值中的平均值；

以拐角类型为两个外角为端点或以拐角类型为外角和平角为端点的片段，边缘放置误差的统计值为边缘放置误差样本值中的最大值。

6.如权利要求1-3、5、6任意一项所述的光学邻近效应修正方法，其特征在于，所述统计值包括最大值、最小值或者平均值三种类型。

7.如权利要求1-3、5、6任意一项所述的光学邻近效应修正方法，其特征在于，所述拐角类型包括平角、外角和内角三种类型。

8.如权利要求1-3、5、6任意一项所述的光学邻近效应修正方法，其特征在于，在所述量测步骤中，每个所述片段的所述参考位置点相对于所述片段的中点对称设置。

9.如权利要求8所述的光学邻近效应修正方法，其特征在于，所述参考位置点以5-15nm的间距均匀分布在所述片段上。