[发明专利]基板冲洗装置及其设置方法

权利要求书

1.一种基板冲洗装置，包括：

辊刷组件，具有：基管，沿中心轴线方向形成有贯通孔以使两端开放；刷，配设在所述基管的外周表面上；以及引入塞，分别耦合到所述基管的两端并密闭所述贯通孔；

第一支撑部，间隔开地配设在所述辊刷组件的一端；

第二支撑部，间隔开地配设在所述辊刷组件的另一端；

第一旋转部，耦合到所述第一支撑部，并耦合到所述辊刷组件的一端的引入塞，与所述辊刷组件一体地旋转；

第二旋转部，耦合到所述辊刷组件的另一端的引入塞，并与所述辊刷组件一体地旋转；

施压部，其一端耦合到所述第二支撑部，另一端与所述第二旋转部耦合，向所述辊刷组件另一端的引入塞的方向对所述第二旋转部施压，使得所述第二旋转部耦合到所述辊刷组件的另一端的引入塞，

夹紧部，配设在所述施压部处，并且限制成使所述第二旋转部不向所述第二支撑部的方向移动；

平衡配重，所述平衡配重配设在所述第一旋转部，使得在所述辊刷组件旋转时由所述平衡配重和所述第一旋转部施加的第一垂直荷重与由所述第二旋转部、所述施压部和所述夹紧部施加的第二垂直荷重相等；以及

保护层，所述保护层设置成覆盖所述基管的外周表面，并保护所述基管免受冲洗液影响，

所述引入塞具有第一引入塞和第二引入塞，

所述第一引入塞具有第一插入部、第一塞部、第一键槽以及第一对准槽，所述第一插入部形成为具有与所述基管的内周表面的直径相对应的直径，并且插入于所述基管的一端，所述第一塞部形成为具有与所述基管的外周表面的直径相对应的直径，并且密闭所述基管的一端，所述第一键槽为多角形状，并且具有与所述第一塞部的中心相同的中心，所述第一对准槽为锥形，并且形成在所述第一键槽的中心，

所述第二引入塞具有第二插入部、第二塞部、第二键槽以及第二对准槽，所述第二插入部形成为具有与所述基管的内周表面的直径相对应的直径，并且插入于所述基管的另一端，所述第二塞部形成为具有与所述基管的外周表面的直径相对应的直径，并且密闭所述基管的另一端，所述第二键槽为多角形状，并且具有与所述第二塞部的中心相同的中心，所述第二对准槽为锥形，并且形成在所述第二键槽的中心，

所述第一旋转部具有：

第一轴，可旋转地耦合到所述第一支撑部；

第一键，与所述第一键槽对应地形成在所述第一轴的一端，耦合到所述第一键槽，并向所述辊刷组件传递旋转力；以及

第一对准突起，与所述第一对准槽对应地突出形成在所述第一键上，耦合到所述第一对准槽，并使所述第一旋转部和所述辊刷组件的旋转中心轴线一致，

所述第二旋转部具有：

第二轴，在一端具有插入槽，所述插入槽沿轴方向形成，并在内周表面上形成有第一螺纹齿；

第二键，与所述第二键槽对应地形成在所述第二轴的另一端，耦合到所述第二键槽，并向所述辊刷组件传递旋转力；以及

第二对准突起，与所述第二对准槽对应地突出形成在所述第二键上，耦合到所述第二对准槽，并使所述第二旋转部和所述辊刷组件的旋转中心轴线一致，

所述施压部具有：

施压杆，其一端可旋转地耦合到所述第二支撑部；

卡爪，形成在所述施压杆上，并且其直径大于所述施压杆的直径；以及

第二螺纹齿，以与所述第一螺纹齿螺纹耦合的方式形成在所述施压杆的另一端；

所述第二螺纹齿沿与所述施压部旋转方向相反的方向形成，使得当所述施压部旋转时对所述第二旋转部施加轴方向的力，以使所述第二旋转部向所述第二引入塞的方向移动，从而保持所述第二键和所述第二对准突起分别耦合到所述第二键槽和第二对准槽的状态，

所述夹紧部配设成包覆所述施压杆的外周表面，其一端与所述卡爪紧密接合，另一端与所述第二轴紧密接合，并且配设在所述第二旋转部和所述施压部之间，

所述保护层是由聚烯烃基材料制成的热收缩管，

所述保护层形成为在收缩前具有比所述基管的外侧直径大的内侧直径，在将所述基管置于其内侧的状态下收缩，从而设置成覆盖所述基管的外周表面。