[发明专利]基板冲洗装置及其设置方法

说明书

本发明涉及提高耐久性、削减使用时的过载、更换和维护便利的基板冲洗装置及其设置方法。基板冲洗装置包括：辊刷组件，第一支撑部，第二支撑部，第一旋转部，第二旋转部，以及施压部。辊刷组件具有基管，沿中心轴线方向形成有贯通孔；在基管的外周表面的刷；引入塞，分别耦合到基管的两端并密闭贯通孔。第一、第二支撑部分别间隔配设在辊刷组件的两端。第一旋转部耦合到辊刷组件一端的引入塞，与辊刷组件一体旋转。第二旋转部耦合到辊刷组件另一端的引入塞，与辊刷组件一体旋转。施压部一端耦合到第二支撑部，另一端与第二旋转部耦合，向辊刷组件另一端的引入塞的方向对第二旋转部加压，使第二旋转部耦合到辊刷组件另一端的引入塞。

技术领域

本发明涉及一种基板冲洗装置及其设置方法，更详细地，涉及一种提高耐久性、削减使用时的过负载、且更换和维护便利的基板冲洗装置及其设置方法。

背景技术

随着信息化社会的发展，对显示装置的要求正在以各种形式增加。与此相应，近年来已经研究了LCD、PDP、ELD和VFD等各种平板显示装置，并且其中一部分已在各种装置中用作显示装置。

通常，显示装置用玻璃基板在主处理工序中，在基板的主表面上形成有由光致抗蚀剂涂布液、光敏聚酰胺树脂、滤色器染色体等构成的薄膜层，该基板被装载在基板传送装置中并沿一个方向移动，然后经过后处理工序，例如化学药液涂布工序、冲洗工序和干燥工序等。

在这种平板显示装置的制造工序中，所述冲洗工序是用于去除基板上的异物和颗粒的工序，其中附着在玻璃基板上的污染颗粒成为主要冲洗对象。在这样的用于去除污染颗粒的冲洗方法中，使用刷的冲洗方法得到广泛使用。使用刷的冲洗工序是在将冲洗液喷射到基板上的同时使刷旋转以去除基板上的异物。

图1是示出现有的基板冲洗装置的刷组件的示意图。

如图1所示，以往，现有的基板冲洗装置的刷组件由轴10、刷20以及支撑台30构成。

通常，刷20可以以通道形式缠绕固定在轴10上，或者以带的形式缠绕并与轴10一体化，用于冲洗面板基板。

轴10构成为实心形式。轴10的两端直接耦合到支撑台30。另外，随着面板基板大型化，轴10的直径变大并且长度也变长，轴10的重量也增大。然而，由于以往的轴10以实心形式构成，因而伴随直径的变大且长度的增加，重量也变大。因此，存在的问题是，设备使用时的负载大。

然后，在更换刷20的情况下，应将刷20和轴10一起全部更换。因此，存在的问题是，用于运输分离的大重量的轴和刷并运输新的大重量的轴和刷的物流成本会增大。

另外，由于需要运输大重量的轴和刷的过程，因而存在的问题是，更换作业需要很多时间。

现有文献中有大韩民国公开专利公报第2010-0059415号(2010年6月4日公开)。

发明内容

为了解决上述问题，本发明要解决的技术问题是提供一种提高耐久性、减少使用时的过负载、且更换和维护便利的基板冲洗装置及其设置方法。

本发明要解决的技术问题不限于以上提到的技术问题，本领域技术人员从以下描述中可以清楚地理解以上未提到的其他技术问题。

为了解决上述问题，提供了一种基板冲洗装置，包括：辊刷组件，具有：基管，沿中心轴线方向形成有贯通孔以使两端开放；刷，配设在所述基管的外周表面上；以及引入塞，分别耦合到所述基管的两端并密闭所述贯通孔；第一支撑部，间隔开地配设在所述辊刷组件的一端；第二支撑部，间隔开地配设在所述辊刷组件的另一端；第一旋转部，耦合到所述第一支撑部，并耦合到所述辊刷组件的一端的引入塞，与所述辊刷组件一体地旋转；第二旋转部，耦合到所述辊刷组件的另一端的引入塞，并与所述辊刷组件一体地旋转；以及施压部，其一端耦合到所述第二支撑部，其另一端与所述第二旋转部耦合，向所使用辊刷组件的另一端的引入塞的方向对所述第二旋转部施压，使得所述第二旋转部耦合到所述辊刷组件的另一端的引入塞。